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PRO Line PVD 75 多功能濺射、電子束和熱蒸發(fā)沉積平臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 KURT.J.LESKER
  • 型號(hào) PRO Line PVD 75
  • 產(chǎn)地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2024/8/14 16:39:14
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 878
產(chǎn)品標(biāo)簽

PVD濺射電子束熱蒸發(fā)沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

PRO Line PVD 75
多功能濺射、電子束和熱蒸發(fā)沉積平臺(tái)

Kurt J. Lesker Company PRO Line PVD 75 是基于主力 PVD 75 平臺(tái)的下一代薄膜沉積系統(tǒng)。PVD 75 在全球擁有 400 多臺(tái)設(shè)備,是一款久經(jīng)考驗(yàn)、堅(jiān)固耐用且用途廣泛的設(shè)計(jì)。PRO Line PVD 75 建立在原始設(shè)計(jì)的成功基礎(chǔ)上,改進(jìn)了系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力和抽空時(shí)間。技術(shù)的腔室設(shè)計(jì)、具有高級(jí)編程功能的行業(yè)最佳軟件控制系統(tǒng)、自動(dòng)基板加載以及用于優(yōu)化薄膜性能的眾多功能是這種創(chuàng)新的設(shè)計(jì)提供的一些關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)。®

規(guī)格

箱形304L不銹鋼腔體

內(nèi)部尺寸:
15.25“ 寬 x 16.50” 深 x 24“ 高
(387.4mm x 419.1mm x 609.6mm)

鋁,O 形圈密封,鉸鏈,前檢修門(mén)


沉積技術(shù)

熱蒸發(fā)

最多四艘 4 英寸的單艘船,或六艘 2 英寸的船組件


TORUS 磁控濺射源

多達(dá) 6 個(gè) 2 英寸或 3 英寸光源

多達(dá) 4 個(gè) 4 英寸信號(hào)源


電子束蒸發(fā)源

4 口袋 8cc

8 口袋 12cc

6 口袋 20cc


LTE10 有機(jī)沉積源

最多兩個(gè) 10cc 源


沉積方向

熱蒸發(fā)

向上


TORUS 磁控濺射源

向上、向下或側(cè)濺射


電子束蒸發(fā)

向上


LTE有機(jī)沉積

向上


底物操作

旋轉(zhuǎn)、加熱、冷卻、偏置、負(fù)載鎖定兼容


電源

DC、PDC、RF、MF 和 HIPIMS 電源




化工儀器網(wǎng)

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