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customized 硅片腐蝕清洗機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

主要適用于對(duì) 2 英寸至 8 英寸的硅片進(jìn)行腐蝕清洗,以滿足半導(dǎo)體制造等相關(guān)領(lǐng)域?qū)杵砻嫣幚淼膰?yán)格要求 

2. 設(shè)備應(yīng)用:

顯影制程,蝕刻(微蝕刻)制程,去光阻清洗制程,去蠟(膠)清洗制程,精密清洗制程,光罩去光阻清洗制程

3. 設(shè)備特點(diǎn):

適用對(duì)象:藍(lán)寶石晶片、砷化鎵晶片、碳化硅晶片、其它襯底基片       

基本規(guī)格: 機(jī)臺(tái)封面 聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)Or China SUS板材(厚度≧2mm)機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)  整體骨架表面噴涂處理Or China SUS矩形材(厚度≧2mm)機(jī)臺(tái)視窗透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or  China 鋼化玻璃(厚度≧5mm)

選配模塊: 1.腐蝕液恒溫系統(tǒng) 

                  2.腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)  

                  3.超(兆)聲系統(tǒng)  

                  4.全自動(dòng)供液系統(tǒng)

                  5.更全面的全自動(dòng)烘干系統(tǒng) 

                  6.消防系統(tǒng) 

                  7.可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理

 

機(jī)臺(tái)特點(diǎn): 1.蝕刻工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性

                  2.QDR沖洗模塊非常見排序式,可根據(jù)制程工藝設(shè)定

                  3.集成自動(dòng)烘干系統(tǒng)

                  4.管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機(jī)及絲杠導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,配置模組化,維護(hù)保修便利,非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全存                      量

                  5.全自動(dòng)化控制,幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng),沖擊小,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),機(jī)械臂定位精度高

                  6.多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲(chǔ)

                  7.作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合,保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人聲安全

                  8.客制化設(shè)計(jì)能力佳,高設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要

 

機(jī)械臂裝置:Robo的工藝路徑種N種(設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi))

                    機(jī)械手傳送定位精度≦ 0.3mm   

                    機(jī)械臂走向前后位移一對(duì)一

                    轉(zhuǎn)向、前后、左右、上下位移一對(duì)四

                    全程轉(zhuǎn)向左右、前后、上下位移一對(duì)多槽等






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