簡單介紹:
擺臂勻膠機旋涂儀主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用
詳情介紹:
擺臂勻膠機主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。儀器采用精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品帶有擺臂,可通過擺臂和蠕動泵的結合實現(xiàn)半自動或全自動涂膠。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學習成本,十分適合實驗室選購。
本儀器采用控制器和主機分體式,主機在手套箱內(nèi),控制器外手套箱外,能防止化學藥品對屏幕的腐蝕.
技術參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 擺臂勻膠機旋涂儀 |
產(chǎn)品型號 | CY-SPC8-BB-PP |
*大轉速 | 10000 RPM |
轉速分辨率 | 1 RPM |
*大旋轉時間 | 3000 S |
旋轉時間分辨率 | 1 S |
*大加速度 | 5000RPM/S |
液體分配 | 3個蠕動泵 流量范圍0.008ml/min-83.5ml/min |
擺臂轉速 | 0-30°/S |
腔體尺寸 | 內(nèi)徑260mm |
尺寸 | 310mm(W)x400mm(D)x250mm(H) |
重量 | 20kg |
電源輸入 | AC220V 50/60Hz |
抽氣速率 | 50L/min |
真空接口 | Φ6mm快擰接口 |