化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>CY-SPC8-BB-PP 擺臂勻膠機(jī)旋涂?jī)x
CY-SPC8-BB-PP 擺臂勻膠機(jī)旋涂?jī)x
參考價(jià) | ¥ 40000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-SPC8-BB-PP
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2024/12/12 10:08:44
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 8
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簡(jiǎn)單介紹:
擺臂勻膠機(jī)旋涂?jī)x主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用
詳情介紹:
擺臂勻膠機(jī)主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。儀器采用精密電機(jī),轉(zhuǎn)速能達(dá)到10000轉(zhuǎn)/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品帶有擺臂,可通過(guò)擺臂和蠕動(dòng)泵的結(jié)合實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)或全自動(dòng)涂膠。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預(yù)設(shè)勻膠曲線(xiàn),大大簡(jiǎn)化了使用過(guò)程降低了學(xué)習(xí)成本,十分適合實(shí)驗(yàn)室選購(gòu)。
本儀器采用控制器和主機(jī)分體式,主機(jī)在手套箱內(nèi),控制器外手套箱外,能防止化學(xué)藥品對(duì)屏幕的腐蝕.
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱(chēng) | 擺臂勻膠機(jī)旋涂?jī)x |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-SPC8-BB-PP |
*大轉(zhuǎn)速 | 10000 RPM |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1 RPM |
*大旋轉(zhuǎn)時(shí)間 | 3000 S |
旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率 | 1 S |
*大加速度 | 5000RPM/S |
液體分配 | 3個(gè)蠕動(dòng)泵 流量范圍0.008ml/min-83.5ml/min |
擺臂轉(zhuǎn)速 | 0-30°/S |
腔體尺寸 | 內(nèi)徑260mm |
尺寸 | 310mm(W)x400mm(D)x250mm(H) |
重量 | 20kg |
電源輸入 | AC220V 50/60Hz |
抽氣速率 | 50L/min |
真空接口 | Φ6mm快擰接口 |