詳情介紹:
全自動勻膠機旋涂儀是一種實驗室設(shè)備,主要用于制備薄膜材料,其應(yīng)用范圍包括制備太陽能電池,制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚合物等材料的薄膜,制備納米材料、納米結(jié)構(gòu)、納米薄膜等。在半導(dǎo)體芯片制造過程中,勻膠機旋涂儀是關(guān)鍵設(shè)備。例如在光刻工藝之前,需要使用它在硅片表面均勻地涂覆光刻膠。光刻膠的厚度均勻性對于芯片的精度和性能至關(guān)重要。高精度的全自動勻膠機能夠精確控制光刻膠的厚度,誤差可以控制在極小范圍內(nèi),確保在后續(xù)光刻過程中能夠精確地將電路圖案轉(zhuǎn)移到芯片上。而且,對于不同尺寸的硅片(如從較小的芯片試驗片到大型的量產(chǎn)硅片),都可以通過調(diào)整旋涂參數(shù)實現(xiàn)良好的涂覆效果。
產(chǎn)品特點:
1、專業(yè)級伺服電機驅(qū)動,高精度、高重復(fù)性
2、人性化設(shè)計,ARM控制,安卓全彩觸屏操作
3、不銹鋼內(nèi)腔,陽極氧化處理面板,美觀、整潔
4、可連續(xù)、自動供膠,滿足工業(yè)用途
5、可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要
6、適合處理超大或超重底物,*大處理12寸圓形底物
7、更大尺寸和重型底物以及內(nèi)腔抽真空等要求均可定制
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 全自動勻膠機旋涂儀 |
產(chǎn)品型號 | CY-SPC-SS |
供電電壓 | AC220V 50Hz |
基片尺寸 | 6寸、8寸鋁合金真空載物盤 |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼 |
轉(zhuǎn)速 | 20-5000rpm |
轉(zhuǎn)速分辨率 | ±lrpm |
加速度可調(diào)范圍 | 20-10000rpm/s |
單步時長 | 3000s |
時間分辨率 | 0.1s |
編程 | 可編程100組100步程序 |
點膠端口 | 可擴展帶四路自動點膠端口 |
點膠功能 | 可升級多路自動點膠功能 |
滴膠方式 | 自動 |
操作方式 | 液晶屏操作系統(tǒng) |