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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>FPKOR-HEX-PVD 臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)

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FPKOR-HEX-PVD 臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)

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薄膜沉積系統(tǒng)

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上海富瞻環(huán)??萍加邢薰咀溆谏虾_@座大都市東方明珠腹地,主要從事環(huán)保類儀器、衛(wèi)生防疫檢驗檢疫儀器設(shè)備的研發(fā)、創(chuàng)新、生產(chǎn)、定制服務(wù),可以滿足客戶科研、勞保、防疫、衛(wèi)生環(huán)境、水文、地理、應(yīng)急、環(huán)保等多方面檢測的需要,做好售后。

電子鼻技術(shù),連續(xù)自動惡臭監(jiān)測系統(tǒng)和便攜式(手提式)惡臭檢測儀,先后開發(fā)了異味、電子鼻、惡臭檢測儀、空氣污染物檢測站等系列產(chǎn)品。

公司熱忱期待和八方來客洽談合作大計!富瞻專注于儀器研發(fā)、創(chuàng)新、非標(biāo)化個性化特殊定制。涉及到的部分產(chǎn)品如下:


我們和國內(nèi)外品牌都有合作,竭誠為您服務(wù)!

實驗室儀器

食品分析

耗材試劑

水質(zhì)檢測

氣體檢測

傳感器

氣象檢測

過程儀表

輻射放射

哈希、梅特勒、梅思安、華瑞、安東帕、PE、賽默飛、馬爾文、艾卡、美墨爾特...........

惡臭氣體分析儀

熏蒸氣體檢測儀

消毒殺菌氣體檢測儀

室內(nèi)氣體檢測儀

酸霧檢測儀

機動車尾氣分析儀

天然氣/煤氣/沼氣垃圾氣分析儀

煤氣/天然氣熱值儀

餐飲油煙檢測儀

公共安全衛(wèi)士環(huán)境應(yīng)急檢測儀

環(huán)境大氣污染物檢測儀

移動式大氣環(huán)境污染物分析儀

非甲烷總烴檢測儀

TVOC/VOC/VOCs檢測儀

惡臭微型站

惡臭在線分析系統(tǒng)

在線油煙監(jiān)測儀

垃圾臭味監(jiān)測系統(tǒng)

有毒有害氣體變送器

在線尾氣廢氣煙氣氣體監(jiān)測儀

工業(yè)流程氣分析儀

非甲烷總烴檢測儀

TVOC/VOC/VOCs檢測儀

在線多氣體分析儀

微型空氣質(zhì)量監(jiān)測站

毒劑在線檢測儀

公共安全衛(wèi)生環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)

酸霧監(jiān)控系統(tǒng)

環(huán)境衛(wèi)生監(jiān)控設(shè)備

 

室內(nèi)空氣苯系物檢測儀

大氣氯苯污染分析儀

環(huán)境大氣有機苯測試儀

PID檢測儀

苯乙烯測試儀

三苯氣體檢測儀

異丙苯分析儀

VOC檢測儀

非甲烷總烴分析儀

環(huán)境大氣污染源監(jiān)測儀

酚類氣體探測儀

總酚探測器

醛類探測儀

大氣復(fù)合污染檢測儀

無組織排放源污染檢測儀

工業(yè)有毒有害氣體測試儀

工業(yè)窯爐鍋爐煙氣儀

機動車尾氣廢氣分析

大氣有機污染分析儀

車載環(huán)境大氣粉塵儀分析儀

光化學(xué)污染測定儀

空氣污染源監(jiān)測儀

車載大氣環(huán)境綜合分析儀

非標(biāo)定制污染氣體檢測儀系統(tǒng)

溫室效應(yīng)氣體分析儀

工業(yè)安全應(yīng)急檢測儀

流動空氣污染源追溯儀

面源污染檢測儀

廠界污染測試儀

沼氣分析儀

生物制氣測試儀

環(huán)境惡臭檢測儀

臭氣濃度儀

熏蒸消毒氣體檢測儀

熏蒸氣體殘留測試儀

網(wǎng)格化大氣環(huán)境檢測儀

小型大氣監(jiān)測站

流動式環(huán)境大氣污染分析儀

 

 

 

水分儀、活度儀、氣體檢測、氣體報警、粉塵儀、水質(zhì)分析儀器、酒精濃度儀

臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)


臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實施應(yīng)用提供了多種沉積選項??裳b配電子束蒸發(fā)源E-beam,ORCA低溫蒸發(fā)源,熱蒸發(fā)源,磁控濺射等。

臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實施應(yīng)用提供了多種沉積選項。可裝配電子束蒸發(fā)源E-beam,ORCA低溫蒸發(fā)源,熱蒸發(fā)源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)是研究和開發(fā)的理想選擇,因為它具有模塊化的特性。所有基本元件都可以訪問,允許對各種組件進行測試,并對幾種薄膜沉積技術(shù)中涉及的工藝進行探索,包括:表面分析樣品制備,濺射,熱蒸發(fā),有機物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括:金屬和光刻膠剝離工藝,EM樣品制備,新型涂料研發(fā),磁控濺射沉積*化
用戶可購買基本型號,在必要時升級到*高級別的組件,這些升級是模塊化的,安裝簡單,減少了系統(tǒng)停機時間和安裝成本。

臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)

臺式薄膜沉積系統(tǒng)配有一個80升/秒的泵,可實現(xiàn)高達8×10^-7毫巴的基本真空,并可實現(xiàn)高至100毫米的樣品尺寸。該系統(tǒng)還配有一個多樣品支架,可同時容納幾個較小的樣品。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)可升級300升/秒的泵,可實現(xiàn)4×10^-7毫巴的基本真空。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室,其空間可容納多達150毫米的樣本,或多個較小的樣本。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)由一個六面鋁框架高真空室組成,該室重量輕,但足夠堅固,適用于大多數(shù)物理氣相沉積應(yīng)用。

六邊形結(jié)構(gòu)支撐六塊模塊化面板,包括:空白面板,“視口"面板,沉積源面板,PLD儀表過程控制面板,包括質(zhì)量流量控制器和厚度控制,用于現(xiàn)場監(jiān)測的QCM面板該設(shè)計使用標(biāo)準化配件,包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭,以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母。這種標(biāo)準化使切換面板和根據(jù)特定應(yīng)用調(diào)整系統(tǒng)變得簡單。模塊化設(shè)計還使維護和重新配置*快、*高效。


臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)




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