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FPKOR-HEX-PVD 臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)
- 公司名稱 上海富瞻環(huán)保科技有限公司
- 品牌 孚光精儀
- 型號 FPKOR-HEX-PVD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/20 11:47:52
- 訪問次數(shù) 92
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臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)
臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實施應(yīng)用提供了多種沉積選項??裳b配電子束蒸發(fā)源E-beam,ORCA低溫蒸發(fā)源,熱蒸發(fā)源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實施應(yīng)用提供了多種沉積選項。可裝配電子束蒸發(fā)源E-beam,ORCA低溫蒸發(fā)源,熱蒸發(fā)源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)是研究和開發(fā)的理想選擇,因為它具有模塊化的特性。所有基本元件都可以訪問,允許對各種組件進行測試,并對幾種薄膜沉積技術(shù)中涉及的工藝進行探索,包括:表面分析樣品制備,濺射,熱蒸發(fā),有機物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括:金屬和光刻膠剝離工藝,EM樣品制備,新型涂料研發(fā),磁控濺射沉積*化
用戶可購買基本型號,在必要時升級到*高級別的組件,這些升級是模塊化的,安裝簡單,減少了系統(tǒng)停機時間和安裝成本。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)配有一個80升/秒的泵,可實現(xiàn)高達8×10^-7毫巴的基本真空,并可實現(xiàn)高至100毫米的樣品尺寸。該系統(tǒng)還配有一個多樣品支架,可同時容納幾個較小的樣品。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)可升級300升/秒的泵,可實現(xiàn)4×10^-7毫巴的基本真空。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室,其空間可容納多達150毫米的樣本,或多個較小的樣本。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)由一個六面鋁框架高真空室組成,該室重量輕,但足夠堅固,適用于大多數(shù)物理氣相沉積應(yīng)用。
六邊形結(jié)構(gòu)支撐六塊模塊化面板,包括:空白面板,“視口"面板,沉積源面板,PLD儀表過程控制面板,包括質(zhì)量流量控制器和厚度控制,用于現(xiàn)場監(jiān)測的QCM面板該設(shè)計使用標(biāo)準化配件,包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭,以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母。這種標(biāo)準化使切換面板和根據(jù)特定應(yīng)用調(diào)整系統(tǒng)變得簡單。模塊化設(shè)計還使維護和重新配置*快、*高效。