多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接原料，是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導體器件的電子信息基礎(chǔ)材料。被稱為“微電子大廈的基石”。

多晶硅，灰色金屬光澤。密度2.32~2.34。熔點1410℃。沸點2355℃。溶于氫氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和鹽酸。常溫下不活潑，高溫下與氧、氮、硫等反應。高溫熔融狀態(tài)下，具有較大的化學活潑性，能與幾乎任何材料作用。具有半導體性質(zhì)，是極為重要的優(yōu)良半導體材料，但微量的雜質(zhì)即可大大影響其導電性。目前，對硅材料中各種雜質(zhì)進行檢測前通常采用酸溶法或堿熔法消解處理后才能進行雜質(zhì)含量分析。在選用溶劑時一般要考慮被測元素能否迅速、*溶解。試樣處理過程中要考慮被測元素的揮發(fā)損失；被測元素是否會與其他被測組分生成不溶性物質(zhì)；過量溶劑可能對分析結(jié)果產(chǎn)生的干擾(如污染和干擾效應等)；是否損傷容器。堿熔法基本使用氫氧化鈉溶解樣品，產(chǎn)物硅酸鈉易水解形成硅酸難以消除基體硅對測定的影響，而且在光譜、質(zhì)譜分析過程中容易堵塞炬管。

本文采用酸溶法溶解多晶硅樣品，探究一個適用于國內(nèi)市場上所售多晶硅樣品有效的消解體系和消解手段。研究了消解中水、氫氟酸和硝酸的用量，比較了超聲助消解、水浴加熱助消解和微波助消解對消解效果的影響。

實驗部分

實驗儀器

電子分析天平

智能石墨消解儀（格丹納公司，D4）

超聲波清洗器

水浴鍋（格丹納公司）

微波消解儀（格丹納公司，A8）

電熱鼓風干燥箱

超純水機

• 高通量微波消解儀

  前處理設(shè)備在線詢價
• D6智能石墨消解儀

  前處理設(shè)備在線詢價