島津企業(yè)管理（中國(guó)）有限公司
類金剛石(DLC)膜及其表面缺陷的島津電子探針分析
檢測(cè)樣品：類金剛石(diamond-likecarbon，DLC）膜
檢測(cè)項(xiàng)目：缺陷分析
方案概述：使用島津電子探針顯微分析儀EPMA-1720對(duì)某類DLC(diamond-likecarbon，類金剛石）膜的表面缺陷進(jìn)行了觀察、元素測(cè)試及元素面分布特征分析。確認(rèn)了缺陷中元素的種類和含量、元素在缺陷位置的分布特點(diǎn)，討論了表面上尺寸大小不等的微觀點(diǎn)狀缺陷可能會(huì)帶來的工程材料失效問題。
類金剛石( diamond-like carbon，DLC）膜是一種非晶碳膜，最早在1971年由離子沉積技術(shù)得到。它是一種由sp3鍵的金剛石和sp2鍵組成的碳膜，具有與金剛石相似的優(yōu)良的力學(xué)性能，因此被命名為類金剛石膜。DLC膜具有硬度高、摩擦系數(shù)低、耐磨性能良好、抗腐蝕性能良好、熱膨脹系數(shù)小等優(yōu)異的物理化學(xué)性能，具有廣闊應(yīng)用的前景，在機(jī)械設(shè)備、海洋工程、汽車零部件、電子和光學(xué)元件、生物醫(yī)用設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域中都有廣泛應(yīng)用。
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