目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>表面微納測(cè)量>>橢偏儀>> FPANG-DUV-VIS-NIR深紫外-可見-近紅外多波段橢偏儀
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更新時(shí)間：2024-08-29 15:20:32瀏覽次數(shù)：361評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
深紫外-可見-近紅外多波段橢偏儀是覆蓋190nm-1700nm光譜范圍的DUV-VIS-NIR光譜橢偏儀,非常適合超薄薄膜厚度測(cè)量,納米薄膜膜厚測(cè)量應(yīng)用。
DUV深紫外橢偏儀特別適合測(cè)量超薄薄膜，如納米厚度薄膜,典型例子是硅晶片上的自然氧化物薄膜，其薄膜厚度通常僅為約1nm-2nm。
DUV深紫外橢偏儀還很適合測(cè)量許多材料的帶隙。
可見近紅外范圍VIS-NIR橢偏儀用于測(cè)量相對(duì)較厚的薄膜,也適合測(cè)量薄膜的光學(xué)常數(shù)。
深紫外-可見-近紅外多波段橢偏儀產(chǎn)品特色
使用基于Windows的軟件易于操作
**的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)***佳系統(tǒng)性能
用于寬帶應(yīng)用的高功率DUV-VIS-NIR光源
基于陣列的探測(cè)器系統(tǒng)，確?？焖贉y(cè)量
用戶可以定義任意數(shù)量的圖層
可用于實(shí)時(shí)或在線厚度、折射率監(jiān)測(cè)
系統(tǒng)配有全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和庫
**的TFProbe 3.3.X軟件允許用戶對(duì)每張膠片使用NK表、色散或有效介質(zhì)近似（EMA）。
三種不同的用戶級(jí)別控制：工程師模式、系統(tǒng)服務(wù)模式和易用用戶模式
靈活的工程師模式，用于各種配方設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)試
強(qiáng)大的一鍵式（交鑰匙）解決方案，用于快速和常規(guī)測(cè)量
可配置的測(cè)量參數(shù)、用戶偏*和易于操作
系統(tǒng)的全自動(dòng)校準(zhǔn)和初始化
直接從樣品信號(hào)獲得精確的樣品對(duì)準(zhǔn)接口，無需外部光學(xué)元件
精確的高度和傾斜調(diào)節(jié)
適用于多種不同厚度的基材
各種選項(xiàng)，可用于特殊配置的配件，如標(biāo)測(cè)臺(tái)、波長(zhǎng)擴(kuò)展、焦點(diǎn)等。
2D和3D輸出圖形和用戶友*的數(shù)據(jù)管理界面
深紫外-可見-近紅外多波段橢偏儀規(guī)格參數(shù)
型號(hào)和波段 | SE200 (DUV-Vis) | SE300 (Vis) | SE450 (Vis-Nir) | SE500 (DUV-Vis-Nir) |
探測(cè)器類型 | CCD或CMOS陣列 | CCD或CMOS陣列 | CCD或CMOS和InGaAs陣列 | CCD或CMOS和InGaAs陣列 |
波長(zhǎng)范圍 | 190-1100nm | 370-1100nm | 370-1700nm | 190-1700nm |
波長(zhǎng)數(shù)據(jù)點(diǎn) | 測(cè)量波長(zhǎng)范圍和波長(zhǎng)數(shù)據(jù)點(diǎn)均可訂購時(shí)選配（數(shù)據(jù)點(diǎn)僅受分辨率限制） | |||
波長(zhǎng)分辨率 | 0.01-3nm | 0.01-3nm | 0.01-3nm | 0.01-3nm |
| 光學(xué)選配 | 根據(jù)應(yīng)用或客戶偏*進(jìn)行步進(jìn)掃描或旋轉(zhuǎn)偏振器/分析儀/減速器；使用PCSA或PSCA配置，可以測(cè)量完整的360度模型；還提供PCSCA雙減速器配置，用于16個(gè)全元件（4x4）Mueller Matrix測(cè)量 | |||
數(shù)據(jù)采集時(shí)間 | 100ms-10s,用戶可定義 | |||
入射角范圍 | 20-90度 | |||
入射角分辨率 | 5度-手動(dòng)型調(diào)整配置 | |||
偏光器件 | 起偏器，檢偏器等 | |||
光斑尺寸 | 1-5mm孔徑可調(diào) | |||
光源 | (D2+TH)/Xe | TH | TH | (D2+TH)/Xe |
燈泡壽命 | 4000 hrs. | 10000 hrs. | 10000 hrs. | 4000 hrs. |
可測(cè)薄膜厚度 | ***高30 µm | 20nm-50 µm | 20nm-50 µm | ***高50 µm |
測(cè)厚分辨率 | < 1? or 0.1% (with 200 ? thick SiO2onSi Standard, precision better than 0.2 ?) | |||
折射率精度 | 0.0001 | |||
測(cè)厚精度 | 0.25% | |||
| 系統(tǒng)角度精度 | UV-Vis Range: Psi 45° ± 0.05°, Delta 0° ± 0.1° ; NIR Range: Psi 45° ± 0.1°, Delta 0° ± 0.2° | |||
樣品臺(tái) | 黑色陽極氧化鋁合金真空吸盤，通常直徑為150x150mm或200mm；其他尺寸（如450mm）可根據(jù)要求或基于自動(dòng)映射行程范圍進(jìn)行配置 | |||
Z-位移臺(tái) | 精密Z臺(tái)，典型行程范圍為12mm，用于樣品高度調(diào)節(jié)，電動(dòng)Z臺(tái)是可選的，行程范圍可定制高達(dá)50mm（~2英寸） | |||
Tilting傾斜校準(zhǔn) | 三點(diǎn)傾斜手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)通常配備非標(biāo)測(cè)工具，電動(dòng)自動(dòng)傾斜可作為選項(xiàng)；對(duì)于自動(dòng)測(cè)繪工具，提供無需進(jìn)一步傾斜調(diào)整的預(yù)調(diào)平平臺(tái)。 | |||
軟件 | 標(biāo)配 | |||
接口 | USB | |||
操作系統(tǒng) | Both 32bit and 64 Bit, Win XP, 7, 8, 10,11 | |||
計(jì)算機(jī)配置建議 | Intel i5, 500 GB space, 8GB RAM; 24" LCD Monitor or equivalent Laptop | |||
供電要求 | 110– 240 VAC /50-60Hz, 3A | |||
平臺(tái) | 桌面式或原位配置 | |||
重量/尺寸 | ~ 75kg / 38(L)x22(D)x34(H)" | |||
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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