邁可諾技術(shù)有限公司

主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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產(chǎn)品圖片 產(chǎn)品名稱
AT-200MAnric原子層沉積系統(tǒng)
AT-200MAnric原子層沉積系統(tǒng)
簡單介紹:占地面積小的桌面系統(tǒng)( 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺)
具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥,用于集成惰性氣體吹掃。
4 英寸圓形卡盤可定制,適用于較小尺寸或其他形狀(11 毫米高)。
3 種有機金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應(yīng)物。
整個加熱管線(從前體到腔室)。
高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態(tài)處理模式
全鋁(半導(dǎo)體級)腔室 ? 范圍高達 310°C
產(chǎn)品型號:AT-200M   所在地:北京市   更新時間:2025-03-11
參考價:面議 詢價留言
AT-610原子層沉積系統(tǒng)
AT-610原子層沉積系統(tǒng)
簡單介紹:原子層沉積(Atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在原子層沉積過程中,新一層原子膜的化學(xué)反應(yīng)是直接與之前一層相關(guān)聯(lián)的,這種方式使每次反應(yīng)只沉積一層原子。
產(chǎn)品型號:AT-610   所在地:北京市   更新時間:2025-03-11
參考價:¥60 詢價留言
AT-410原子層沉積系統(tǒng)
AT-410原子層沉積系統(tǒng)
簡單介紹:原子層沉積系統(tǒng)(ALD)是一種基于自限制表面化學(xué)反應(yīng)的先進薄膜沉積技術(shù)。通過交替通入不同前驅(qū)體氣體,在基底表面逐層形成單原子層厚度的薄膜,具有原子級精度控制和三維共形性覆蓋的特點,尤其適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)和高深寬比器件的均勻鍍膜。
產(chǎn)品型號:AT-410   所在地:國外   更新時間:2025-03-11
參考價:¥60 詢價留言
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