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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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工作原理
Colibrì系統(tǒng)*由微控制器控制。 利用該系統(tǒng)，可以簡單地通過執(zhí)行可由用戶編輯的9個配方中的一個來執(zhí)行處理。 使用高精度針閥，將受控的氣流引入處理室。 將低頻信號（50kHz）施加到腔室內(nèi)的電極，這與氣體分子相互作用從而觸發(fā)等離子體。 產(chǎn)生的等離子體提供與待處理基板表面的*單層相互作用的反應(yīng)離子物質(zhì)。 通過對工藝參數(shù)（氣體流量，信號強度，持續(xù)時間......）進行處理，可以改變生成的過程。
產(chǎn)品功能
?臺式等離子系統(tǒng)，簡單通用
?多可處理十種不同的可編輯配方
?*結(jié)果的*性
?長期可靠性
?使用主要品牌組件
技術(shù)規(guī)格
尺寸 寬 x 長 x 高 450 x 370 x 180 mm
凈重 16 Kg （不含真空泵）
凈空 右，左，前 - 600mm，后 - 300mm
