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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話
A4P四點(diǎn)探頭采用100mm，150mm，200mm或300mm系統(tǒng)，無需維護(hù)且易于使用。該系統(tǒng)有多種選擇，包括寬范圍熱測(cè)試，非標(biāo)準(zhǔn)材料的定制卡盤和幾乎適用于任何應(yīng)用的4點(diǎn)探針。
電阻率測(cè)量自動(dòng)化軟件
A4P-200-PLUS自動(dòng)化軟件允許使用電阻率測(cè)繪系統(tǒng)進(jìn)行半自動(dòng)或全自動(dòng)測(cè)試。該接口設(shè)計(jì)簡單但功能強(qiáng)大，允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動(dòng)測(cè)試程序?；?/span>LabView的軟件采用邏輯結(jié)構(gòu)，可輕松集成客戶自己的測(cè)試和測(cè)量設(shè)備。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC上。
A4P四點(diǎn)探頭功能
系統(tǒng)提供快速，準(zhǔn)確的測(cè)量并且非常用戶友好。
直觀的基于LabView的開源軟件提供各種數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)以及結(jié)果的二維和三維映射。
可以表征的各種材料和結(jié)構(gòu)。
寬電阻率測(cè)量和薄層電阻范圍。
溫度范圍：從低于-60°C到超過300°C。
可選擇1種，5種，9種，25種，49種或121種測(cè)量模式以及自定義電阻率測(cè)量模式。
可調(diào)式真空吸盤適用于5mm至300mm的樣品尺寸。
ASTM，SEMI或簡單輸出的快速測(cè)量模式。
點(diǎn)擊或點(diǎn)擊或直接坐標(biāo)輸入晶圓導(dǎo)航。
與Jandel探頭兼容。
該系統(tǒng)的真空或受控環(huán)境版本可用于擴(kuò)展溫度測(cè)試的電阻率測(cè)試。
自動(dòng)化軟件功能
在大多數(shù)情況下，所有自動(dòng)化，測(cè)量和數(shù)據(jù)采集都可以通過在簡單的筆記本電腦上運(yùn)行的軟件包進(jìn)行管理。
不需要昂貴的硬件。
軟件允許用戶生成測(cè)量圖案圖。
軟件允許用戶生成結(jié)果的2D和3D地圖。
軟件輸出電阻和電阻率或厚度測(cè)量值。
軟件輸出電阻和電阻率或厚度測(cè)量值。
軟件內(nèi)置了熱卡盤的*控制，允許復(fù)雜且高度可定制的測(cè)試序列。
該軟件是開源的，客戶可以對(duì)其進(jìn)行定制以滿足任何特定需求。
MicroXact團(tuán)隊(duì)與客戶一起努力，盡快開發(fā)出的自動(dòng)化解決方案。
A4P 4點(diǎn)探頭規(guī)格
A4P-200-TC
以下規(guī)格適用于標(biāo)準(zhǔn)配置。在大多數(shù)情況下，每個(gè)A4P 4點(diǎn)探針系統(tǒng)都可以定制，以超過這些值。
晶圓尺寸 高達(dá)300mm
真空吸盤 多區(qū)真空
兼容的探頭 Jandel探頭
饋通終端 BNC，Triax或香蕉插頭
自動(dòng)化軟件 基于LabView，與Windows兼容
