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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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AS-One真空快速退火爐，性能，可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝。zui高溫度1500 ℃，zui快升溫速率200℃/Second。全程PC軟件控制升溫程序，保證溫度不過沖，控溫精度準(zhǔn)確。
產(chǎn)品特點：
1、 紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷（低噪音水平，無需壓縮空氣）；
2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到初的熱處理效果；
3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設(shè)計，雙層不銹鋼；
冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于：1、無記憶，2、工藝重復(fù)性高，3、冷卻速度快；
4、反應(yīng)腔室的設(shè)計，氣體的進(jìn)入口設(shè)計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；
5、快速數(shù)字PID控溫；
6、熱電偶配合高溫計控溫，測試樣品的溫度，控溫精準(zhǔn)；
7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；
8、多5路工藝氣體，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器；
9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度；
10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計，用于小樣品測試；
11、可選配分子泵，用于高真空測試；
產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù)：
1、樣品zui大尺寸：AS-One100：4-inch；AS-One150 ：6-inch；
2、紅外鹵素?zé)簦?/span>AS-One100 12支； zui大功率：30KW；
AS-One150 18支； zui大功率：34KW；
3、紅外鹵素?zé)衾鋮s方式：風(fēng)冷；
4、溫度范圍：AS-One100室溫~1250 ℃；（室溫~1500 ℃可選）
AS-One150室溫~1200 ℃；（室溫~1300 ℃可選）
5、升溫速率：AS-One100 ：0.1 ℃~250 ℃/s ；
AS-One150 ：0.1 ℃~200 ℃/s ；
6、溫度控制：快速數(shù)字PID控制；
7、熱電偶：2個K型熱電偶；（安裝中心和邊緣）
8、進(jìn)氣口：位于石英窗下；
9、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計：壓力：2bars，多可配置5路；
10、配置真空泵及真空規(guī)：真空度：10e-3 Torr；（分子泵選配10e-6 Torr）
11、尺寸：AS-One100：510*800*1425mm (W*D*H)；
AS-One150：510*800*1425mm (W*D*H)；
重量：AS-One100：194Kg；
AS-One150：凈重240Kg；
