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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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濕法顯影掩膜版清洗系統(tǒng)
手動(dòng)型SCS112
SCS112型是一款高效率手動(dòng)型的系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)用于在劃片或劃片后清洗晶片?？赏ㄟ^(guò)施加高壓DI水射流或霧化噴嘴來(lái)清潔安裝在環(huán)（抓環(huán)）或膠片框架上的晶圓，然后使用高轉(zhuǎn)速，氮?dú)廨o助或紅外加熱燈進(jìn)行快速干燥。該系統(tǒng)大可處理8英寸晶圓。
功能：
選項(xiàng)：
產(chǎn)品參數(shù)：
?
手動(dòng)型SCSe124
SCSe124型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б?，它經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，擁有各種清潔技術(shù)。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng)，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe124具有微處理控制器，該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù)，并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序。
功能：
產(chǎn)品參數(shù)：
?
手動(dòng)型SCSe126
SCSe126型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б妫?jīng)過(guò)驗(yàn)證，擁有各種清潔技術(shù)。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng)，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe126具有微處理控制器，該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù)，并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序。
功能：
• 徑向排氣腔，可實(shí)現(xiàn)大層流。
• 獨(dú)立式聚丙烯腔室。
• 微處理器可控制10個(gè)程序段。
• 內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
• 按鈕蓋啟動(dòng) 打開(kāi)/關(guān)閉。
• 觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。
• 多可使用4個(gè)機(jī)械臂。
?產(chǎn)品參數(shù)：
