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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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產(chǎn)品參數(shù)：
可處理襯底尺寸：直徑大為8英寸的晶圓片，或大為6英寸 x 6英寸的襯底；
旋轉(zhuǎn)速度：達9,000 rpm（以1 rpm步長可調(diào)）；
固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；
處理時間：（1-999秒，可在1秒內(nèi)調(diào)整）；
加速度：1-5,000rmp/sec；
其他參數(shù)：20個程序段，每個40步
設(shè)備尺寸：約 480mmx 360mm x 416mm(不帶蓋子)
控制器尺寸：約 145mmx 100mm x 120mm
選配件：
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
主營產(chǎn)品：
Laurell勻膠機
Harrick等離子清洗機
Thetametrisis膜厚儀
Microxact探針臺
ALD原子層沉積系統(tǒng)
TRION反應(yīng)離子刻蝕機
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻機
Novascan紫外臭氧清洗機
Nilt納米壓印機
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板
Annealsys高溫退火爐
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)
Wabash/Carver自動壓片機
