邁可諾技術(shù)有限公司

主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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    聯(lián)系人：
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    [供應(yīng)]TC-Wafer校準(zhǔn)儀
    TC-Wafer校準(zhǔn)儀
    貨物所在地：
    湖北武漢市
    更新時間：
    2024-05-31 11:35:48
    有效期：
    2024年5月31日--2025年5月31日
    已獲點(diǎn)擊：
    143
    【簡單介紹】TC-Wafer校準(zhǔn)儀是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器，適配市場上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設(shè)備。
    【詳細(xì)說明】

     TC-Wafer校準(zhǔn)儀，是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器。

    適配市場上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設(shè)備。
    特殊情況可定制以適配。
     產(chǎn)品特點(diǎn)（部分）
    1.測溫準(zhǔn)確 溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準(zhǔn)確測量晶圓溫廠均勻性；
    2.使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數(shù) 據(jù)，并能自動生成測試報告，
    支持U盤、藍(lán)牙、無線網(wǎng) 絡(luò)等多種方式導(dǎo)出數(shù)據(jù)和報告；
    3.顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制)，顯示實時點(diǎn)位圖及溫度分布圖，
    可在使用過程中實時觀察各點(diǎn)溫度變化；
    4.功能強(qiáng)大 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。
    可做同一臺設(shè)備不同時間段、以及不同設(shè)備同一配方的數(shù)據(jù)對比；
    5.便攜易維護(hù) 便攜一體化設(shè)計，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口
    65W速充，可迅速更換TC- wafer。
     TC-Wafer校準(zhǔn)儀應(yīng)用功能：
    1.半導(dǎo)體制造工藝調(diào)校
    2.RTP設(shè)備的測試、驗證
    3.TC-Wafer的測試、驗證
    4.相 關(guān) 晶 圓 熱 處 理 設(shè) 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
    CVD,PVD,Photo,等等;

    5.使用范圍：室溫~ 1200℃(更高溫可定制)

     

     



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