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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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桌面微型紫外光刻機(jī)
產(chǎn)品介紹
桌面微型紫外光刻機(jī)，專為微米級(jí)圖案制作而設(shè)計(jì)，旨在保障圖形轉(zhuǎn)移精度。設(shè)備采用紫外LED冷光源，結(jié)合雙非球面石英透鏡，可生成半角<2°的平行光，相較傳統(tǒng)接觸式曝光機(jī)，其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上，為操作提供了便利與精準(zhǔn)。
該光刻機(jī)廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領(lǐng)域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業(yè)展開微細(xì)加工工藝研究。緊隨現(xiàn)代技術(shù)的步伐，桌面微型光刻機(jī)的問世為微納加工注入了新的活力，助力客戶在項(xiàng)目目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)過程中邁向更高精度、更具創(chuàng)新性的階段。
技術(shù)參數(shù)
曝光光源:紫外LED；
光源波長:365nm;
曝光面積:4英寸、6英寸可選;
曝光方式:單面接觸式定時(shí)曝光；
曝光分辨率:2um;
曝光強(qiáng)度:30~120mW/cm2可調(diào)；
曝光不均勻性:<5%;
光源平行性:≤2°
光源壽命:>20000h;
電源輸入:AC220V+10V，50HZ
