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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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產(chǎn)品名稱： 探針式表面輪廓儀膜厚儀 品牌： KLA 產(chǎn)品型號： Alpha-Step D-500 產(chǎn)地： 美國
Alpha-Step D-500探針式表面輪廓儀膜厚儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D臺階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 D-500包括一個手動140毫米平臺和*的光學系統(tǒng)以及加強視頻控制。
Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行準確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
· 臺階高度：幾納米至1200μm
· 低觸力：0.03至15mg
· 視頻：500萬像素分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀
· 軟件：用戶友好的軟件界面
· 臺階高度：2D臺階高度
· 紋理：2D粗糙度和波紋度
· 形式：2D翹曲和形狀
· 應力：2D薄膜應力
· 大學，研究實驗室和研究所
· 半導體和復合半導體
· SIMS：二次離子質(zhì)譜
· LED：發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS：微電子機械系統(tǒng)
· 汽車
醫(yī)療設(shè)備
