EMS300TD雙濺射頭大腔室分子泵離子濺射鍍膜儀（通用儀器）

    雙濺射頭大腔室分子泵離子濺射鍍膜儀（通用儀器）的腔室直徑達到300mm，高度127mm；雙頭設(shè)計，可連續(xù)濺射2種不同的金屬；全自動控制、渦輪分子泵，適合于薄膜應(yīng)用和SEM樣本導(dǎo)電鍍膜之需要。

• 全自動觸摸屏控制，快速數(shù)字輸入，操作簡便
• 雙濺射頭—可按照順序濺射兩種不同的金屬
• 用戶自定義鍍膜方案
• 靶材可選易氧化和不易氧化金屬
• 優(yōu)秀的鍍膜顆粒適用于更的FE-SEM應(yīng)用
• 大腔室（可選購加高腔室）
• 鍍膜日志-記錄zui后100條鍍膜參數(shù)
• 雙通道膜厚監(jiān)測可選
• 高真空渦輪分子泵
• 自動真空控制
• 真空閉鎖功能
• 60分鐘濺射不間斷濺射
• 人體工程學(xué)設(shè)計的整體成型機殼：易維護和易拆裝
• 帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口：簡單的程序更新
• 設(shè)有功率因素補償，有效利用電能，降低運行成本
• 符合當(dāng)前電器法規(guī)（CE認(rèn)證）
• 3年質(zhì)保

基本信息：

    1·工作腔室：283mm（內(nèi)徑）*127mm（高）硼硅酸鹽玻璃腔室，并帶整體安全防護罩

    2·觸摸屏用戶界面：145 mm x 320 mm x 240 mm，帶有觸摸按鈕的全圖像界面，包含多達一百個鍍膜程序，可提醒何時需要維護

    3·樣品臺：水平旋轉(zhuǎn)直徑102mm圓片

    4·真空系統(tǒng)：皮拉尼真空計作為標(biāo)配（全量程真空計可以選購），極限真空可達10^-5mbar

    5·渦輪分子泵：帶有內(nèi)部空氣冷卻的渦輪分子泵，抽速為70L/s

    6·旋轉(zhuǎn)機械泵：抽速為50L/m的兩級旋轉(zhuǎn)機械泵

工藝參數(shù)：

    1·濺射：0-80mA?？深A(yù)設(shè)膜厚（需FTM選項）或使用內(nèi)置定時器。

    2·氣體：濺射工作氣體氬氣，99.999%；氮氣，放氣破真空氣體（可選）

    3·電源需求：90-250V~50/60Hz 1400VA 包括旋轉(zhuǎn)機械泵；尺寸：儀器機箱585mm寬*470mm*410mm高（總高710mm）

    4·儀器總重量：36.6KG

    5·濺射靶材和碳耗材供應(yīng)：直徑57 mm Ø x 0.3 mm的鉻靶（Cr）和57 mm Ø x 0.1 mm的金靶（Au）作為標(biāo)配。

訂購信息：