本例是BaTiO3多層沉積結(jié)構(gòu)陶瓷電容的原材料BaCO3和TiO2的顆?；旌衔锏挠^察例。 由于這些顆粒的混合比例不同陶瓷電容的性質(zhì)也隨之發(fā)生變化，所以通過電鏡觀察掌握BaCO3顆粒和TiO2顆粒的混合狀態(tài)非常重要。
    
    左圖是用5kV加速電壓觀察的LABSE圖像；右圖是用0.8kV加速電壓觀察的LABSE圖像。由于加速電壓不同，激發(fā)深度不同，所以0.8kV拍的照片和5kV拍的照片相比較可以發(fā)現(xiàn)前者的成分對比度更佳。
    正是如此，低加速電壓下的BSE圖像觀察，可以更有效的反應(yīng)出微小顆粒的成分差異。

    而且，像右圖那樣使用高角背散射電子（HABSE）信號觀察，和左圖的LABSE相比，成分對比度更加強(qiáng)烈。
    本例采用SU9000超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡進(jìn)行觀察，關(guān)于此儀器請參考：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138508.htm
    

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