激光掃描系統(tǒng)

MPDPro設(shè)計用于對電特性進(jìn)行分析，在四分鐘的測量時間內(nèi)，對1毫米分辨率，500毫米磚磚(或晶片)自動掃描。進(jìn)行非接觸測量。

MDPpro系列具有快速、靈活，自動掃描多晶硅磚和晶片的穩(wěn)固設(shè)計。同時測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度，所有測量圖形同時繪制。這個儀器的設(shè)置非常簡單，僅需要電源。測量必要性包括了工作站與數(shù)據(jù)庫。樣品裝載可以手動或由自動系統(tǒng)來完成。在1mm分辨率下，156x 156 x 400 mm標(biāo)準(zhǔn)磚的測量速度小于4分鐘。電阻率自動掃描選項具有長時間穩(wěn)定性而無需頻繁重新校準(zhǔn)。用于參考測量的校準(zhǔn)庫也是可用的。由于偏析和預(yù)期摻雜類型的過補(bǔ)償導(dǎo)致的導(dǎo)電類型轉(zhuǎn)換的空間分辨測量可以以高空間分辨率來研究。

該儀器被設(shè)計用于工藝和材料的質(zhì)量監(jiān)控，例如單晶或多晶硅。多晶硅磚切割標(biāo)準(zhǔn)的自動輸出。能夠根據(jù)爐子的輸出質(zhì)量進(jìn)行單獨(dú)的爐子監(jiān)控進(jìn)行優(yōu)化和決定投資。MDPpro是多晶硅磚生產(chǎn)商以及爐子技術(shù)生產(chǎn)商的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

優(yōu)勢

• 脫機(jī)或晶圓的整體工具系列。少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率、p/n導(dǎo)電類型變化和幾何樣品平整度的同時自動掃描。
  

• 對于156x 156 x 400 mm標(biāo)準(zhǔn)磚，測量速度小于4分鐘，分辨率為1mm，所有5幅測量圖形同時繪制。
  

• 堅固耐用的設(shè)計和易于設(shè)置的性能。對于安裝，僅需要電源。帶有數(shù)據(jù)庫的工作站包含在下面的隔間中。