靈活的自動(dòng)掃描系統(tǒng)

低成本桌面式壽命測(cè)量系統(tǒng)，用于手動(dòng)操作表征不同制備階段的各種不同硅樣品?？蛇x的手動(dòng)操作Z軸用于厚度多達(dá)156毫米的樣品。標(biāo)準(zhǔn)軟件可輸出可視化的測(cè)量結(jié)果。

MDPspot包括附加電阻率測(cè)量選項(xiàng)。只測(cè)量硅的電阻，對(duì)于沒(méi)有高度調(diào)節(jié)可能性的晶片，或者對(duì)于磚。這兩個(gè)選項(xiàng)中的一個(gè)是預(yù)先定義的。

優(yōu)勢(shì)

• 用于單點(diǎn)測(cè)量少子壽命的臺(tái)式裝置，可測(cè)量多晶或單晶硅在不同制備階段，從成長(zhǎng)到后面器件。
  

• 體積小，成本低，使用方便。附帶一個(gè)基本軟件，用于在小型電腦或筆記本上輸出可視化的測(cè)量結(jié)果。
  

• 適用于晶片上的磚，易于進(jìn)行高度調(diào)整。