SURF-CALDuke PD-064 SURF-CAL 尺度標準微粒
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- 上海瑞貝貿(mào)易有限公司
- 2016-05-08 06:37:32
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【簡單介紹】
【詳細說明】
Duke PD-064 SURF-CAL 尺度標準微粒
NIST溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導準則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導體技術(shù)藍圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片（PSL）表面，用戶以對掃描儀進行周期性標，并與其它的掃描儀進行對比。 用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測量方法學：
為了確保與NIST的直接溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法（1994年版“NIST測量結(jié)果不確性評估指導方案”）計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴大性不確因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。
| 微粒組成： | 聚苯乙烯 |
| 微粒密度： | 1.05g/cm3 |
| 微粒數(shù)量： | 3 x 108 or 1010顆/毫升 |
| 包裝規(guī)格： | 50ml瓶裝，每盒6瓶 |
| 微粒折射率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
| 添加劑： | 無 |
| 產(chǎn)品保質(zhì)期： | ≥2年 |
| 存儲條件： | 冰箱儲藏（冰點以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染 |
| 包裝內(nèi)容 | 標與溯源證書、粒子計數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表（MSDS） |
| Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
| 3 x 108 | 1010 | | | Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
| PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
| PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
| PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
| PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
| PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
| PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
| PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
| PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
| PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
| PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
| PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
| PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
| PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
| PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
| PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
| PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
| PD1600 | | 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
| PD2000 | | 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
| PD3000 | | 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
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