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SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒Duke PD-500 SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒
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- 上海瑞貝貿(mào)易有限公司
- 2016-05-08 09:46:30
- 上海市
- 1727
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
Duke PD-500 SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒
NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn)，用于需要高度視覺(jué)反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測(cè)和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會(huì)的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。通過(guò)將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片（PSL）表面，用戶以對(duì)掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo)，并與其它的掃描儀進(jìn)行對(duì)比。 用戶還以對(duì)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評(píng)估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過(guò)濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動(dòng)粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測(cè)量方法學(xué)：
為了確保與NIST的直接溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過(guò)電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測(cè)量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法（1994年版“NIST測(cè)量結(jié)果不確性評(píng)估指導(dǎo)方案”）計(jì)算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴(kuò)大性不確因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。
| 微粒組成： | 聚苯乙烯 |
| 微粒密度： | 1.05g/cm3 |
| 微粒數(shù)量： | 3 x 108 or 1010顆/毫升 |
| 包裝規(guī)格： | 50ml瓶裝，每盒6瓶 |
| 微粒折射率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
| 添加劑： | 無(wú) |
| 產(chǎn)品保質(zhì)期： | ≥2年 |
| 存儲(chǔ)條件： | 冰箱儲(chǔ)藏（冰點(diǎn)以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染 |
| 包裝內(nèi)容 | 標(biāo)與溯源證書、粒子計(jì)數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表（MSDS） |
| Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
| 3 x 108 | 1010 | | | Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
| PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
| PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
| PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
| PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
| PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
| PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
| PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
| PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
| PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
| PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
| PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
| PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
| PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
| PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
| PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
| PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
| PD1600 | | 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
| PD2000 | | 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
| PD3000 | | 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
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