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VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個2英寸水冷靶頭和可旋轉樣品臺,外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵。
用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜
技術參數
輸入電壓 | AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz |
輸入功率 | < 2000W |
輸出功率 |
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腔體 | 石英腔體:167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height |
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控制面板 | 6" PLC集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度 |
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氣氛 | 含一個控制進氣的針閥和一個放氣閥 |
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可選配件 |
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體積 | |
凈重 | 20 kg ( not included pump ) |
質保和證書 |
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磁控濺射鍍膜知識 | 與客戶分享新的磁控濺射鍍膜技術,請點擊文章鏈接- Plasma Sputter Coating. |
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