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解讀等離子清洗機(jī)的構(gòu)造與運(yùn)行過程

閱讀:2871      發(fā)布時(shí)間:2015-9-1
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(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,啟動(dòng)運(yùn)行裝置,開始排氣,使真空室的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要2min。
(2)向真空室引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在100pa。根據(jù)清洗材質(zhì)的不用,可分別選用氧氣、氫氣、或氮?dú)獾葰怏w。
(3)在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體*籠罩在被處理工件,開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
(4)清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及汽化的污垢排出,同時(shí)向真空室內(nèi)鼓入氣體,并使氣壓升至一個(gè)大氣壓。

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