Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產(chǎn)品介紹：

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡由GETec與Nanosurf提供,讓您能輕松地聯(lián)合兩種功能強(qiáng)大的分析工具，原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)，構(gòu)造真實(shí)的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性，但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM懸臂梁到您想要測量的準(zhǔn)確位置上。進(jìn)而大大地擴(kuò)展了您的相關(guān)顯微鏡測量與分析的可行性。

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 實(shí)時在您的真空環(huán)境中進(jìn)行AFM分析

• 方便集成在SEM中進(jìn)行相關(guān)AFM分析

• 兼容于大多數(shù)電鏡而不影響SEM正常操作

• 可適配真空腔室環(huán)境兼容大氣環(huán)境測量

• 操作簡便而直觀

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢：

實(shí)時在您的電鏡中進(jìn)行AFM分析

原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)的互為補(bǔ)充可以對您的樣品進(jìn)行的表征成為可能。AFSEM可以讓您同時對您的樣品進(jìn)行高分辨成像，構(gòu)造真實(shí)的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性,但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM懸臂梁到您想要測量的準(zhǔn)確位置上。優(yōu)化的AFSEM工作流(不影響SEM正常運(yùn)行)確保了高效的操作,而強(qiáng)大的控制軟件可以實(shí)現(xiàn)智能化的測量、系統(tǒng)操作與數(shù)據(jù)分析。

SEM-AFM相關(guān)性分析

對于產(chǎn)品或材料分析,我們總是期望利用多種技術(shù)來進(jìn)行樣品分析，而且尋求參數(shù)之間的相關(guān)性,而像原子力顯微鏡(AFM)與掃描電鏡(SEM)這類成像技術(shù)，我們就希望在同一個準(zhǔn)確的位置進(jìn)行分析!

同步于AFM與SEM的多種其他分析技術(shù)工具

因?yàn)锳FSEM設(shè)計保持了全部的SEM功能性，它就可以聯(lián)合其他的一些標(biāo)準(zhǔn)的SEM分析技術(shù)如FIB，F(xiàn)EBID與EDX等，樣品無需掃描，而且相對重的或定制的樣品臺，比如張力牽拉臺、納米壓痕臺等，都可以輕松地聯(lián)合在AFSEM中。

兼容于大多數(shù)電鏡而不影響SEM正常操作

AFSEM適配于大多數(shù)SEM或雙光束系統(tǒng)(SEM/FIB):它直接地安裝在系統(tǒng)腔室的門上,而不改變樣品臺自身。而且狹小的針尖掃描設(shè)計配合了自感應(yīng)探針系統(tǒng)在電子柱的頂部與樣品之間只需要4.5 mm空間即可。所以AFSEM能兼容于大部分標(biāo)準(zhǔn)的與可選的樣品臺，而且?guī)缀蹩梢蕴幚砟芊胚M(jìn)系統(tǒng)腔室的任何一個樣品。這種設(shè)計可以在電鏡中實(shí)現(xiàn)亞納米級別臺階高度的測量.

操作簡便而直觀

AFSEM提供了操作的靈活性與智能化定位,三軸粗定位臺移動探針進(jìn)入或者離開SEM的視場中的位置并定位探針到感興趣的位置,SEM樣品臺橫向移動樣品為方便AFSEM與SEM測量:垂直方向上,AFM與可以與樣品一起移動,可以讓您安全地安全地上下移動樣品而不會撞壞AFM探針。通過一個訂制的適配板與電路密封件可以在SEM里實(shí)現(xiàn)AFSEM的安裝,AFSEM可以通過僅僅四個螺絲就可以安裝或拆下下來,整個過程可以不到五分鐘，可以快速與方便的集成或從系統(tǒng)中移除。探針都預(yù)安裝在一個標(biāo)準(zhǔn)的接口上，可以快速實(shí)現(xiàn)探針更換,因此大大節(jié)省了系統(tǒng)的down機(jī)時間。因?yàn)樽愿袘?yīng)探針技術(shù)與自動化探針定位調(diào)整,AFSEM系統(tǒng)馬上就可以開始進(jìn)行操作.

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡部件與附件：

• AFSEM 測量頭

• AFSEM工具套裝（包含探針）

• 定位AFSEM測量頭用XYZ樣品臺+SEM定制適配板與密封間法蘭

• 控制器、高壓放大器、計算機(jī)（在一個控制柜里）+軟件

• AFSEM探針

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡常見測量模式：

Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡圖：