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瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥 65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供高水平的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。 驅(qū)動(dòng)器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力，可提供全新可控性。這意味著可以非?？焖佟⒕?xì)和準(zhǔn)確地控制鐘擺閥板的各個(gè)位置，從而在極短的響應(yīng)時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)非常精確的下游壓力控制。閥門的預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)序列可根據(jù)各種不斷變化的工藝參數(shù)，對(duì)速度和路線進(jìn)行調(diào)整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經(jīng)過優(yōu)化的阻尼關(guān)閉運(yùn)動(dòng)可避免傳統(tǒng)閥門常見的沖擊和振動(dòng)。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無(wú)礙，幾乎察覺不到關(guān)閉和打開。閥板提供非常精確的機(jī)械引導(dǎo)，可確保往復(fù)運(yùn)動(dòng)中的無(wú)接觸氣流控制，并在密封運(yùn)動(dòng)的所有區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻的密封。 65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其的可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。 
65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接?？杉啥ㄖ品ㄌm，也可作為直接安裝選項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，并且可根據(jù)要求使用其他材料。 控制器可采用特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PID、上游、軟抽）?？刂破魃系母鞣N標(biāo)準(zhǔn)端 口可通過個(gè)人計(jì)算機(jī)或連接到過程控制單 元 (PCU) 輕松訪問。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準(zhǔn) 65.3 控壓擺閥并簡(jiǎn)化維護(hù)計(jì)劃 
65.3 高真空控壓擺閥 主要特點(diǎn)
特點(diǎn)：
優(yōu)勢(shì)：
可靠性、精度和速度 維護(hù)周期延長(zhǎng) 運(yùn)行成本低 瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥
技術(shù)數(shù)據(jù)尺寸 |
| DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"),
DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14") |
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驅(qū)動(dòng)器 |
| 帶集成壓力控制器的步進(jìn)電機(jī) |
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閥體材料 |
| 鋁：鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 |
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饋通件 | 驅(qū)動(dòng)器 密封圈 | 旋轉(zhuǎn)饋通件 軸饋通件 |
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標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
| ISO-F, JIS |
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泄漏率閥體 | 鋁 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-5 mbar ls-1 |
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泄漏率閥座 | 鋁 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-4 mbar ls-1 |
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壓力范圍 | 鋁 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng))
1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) |
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首維護(hù)前開關(guān)次數(shù)1) | 壓力控制 關(guān)閉/打開 | 100 萬(wàn)次 20 萬(wàn)次 |
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溫度 | 閥體
控制器 | ≤ 120 °C
最大 50℃（建議 ≤35℃） |
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材料 | 閥體、閥板 | EN AW-6061 (3.3211) |
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| | 密封圈 | EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303),
AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) |
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| | 其他部件 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122),
AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) |
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密封 | 閥蓋、閥板、 閥體饋通件 | 氟橡膠（含氟彈性體） |
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安裝位置 |
| 任何位置 |
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