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瑞士VAT真空擺閥 16.2 高真空擺式隔離閥提供了可靠的隔離性能，并結(jié)合了低顆粒數(shù)和低顆?；罨?。特別平滑的開閉運動造就了優(yōu)秀的顆粒性能。 它是苛刻工藝中隔離要求的理想選擇，例如y應(yīng)用在蒸發(fā)器和濺射中。16.2閥門提供了一個3位氣動、單作用帶關(guān)閉彈簧或標(biāo)準(zhǔn)氣動、單作用帶關(guān)閉彈簧。 由于其特殊的分體式設(shè)計，它允許在不拆卸管道連接或工藝室連接的情況下進行維護。其纖細的設(shè)計使16.2尺寸的隔離閥可以直接安裝在工藝室中，減少了通常在工藝室-閥門-泵連接中所需要的體積。 16.2系列很容易集成到各種真空工藝憑借其堅固的設(shè)計和各種設(shè)計選項。 16.2系列已經(jīng)安裝在全球數(shù)百個不同工藝條件下的批量和在線生產(chǎn)系統(tǒng)中，它在各方面都證明了其出色的性能。 16.2高真空擺式隔離閥有鋁制的，閥體經(jīng)硬陽極處理或鍍鎳，有ISO-F、ASA-LP和JIS的標(biāo)準(zhǔn)法蘭接頭。可以集成客戶特定的法蘭。其他更多的選擇是用于粗加工（旁路）、通風(fēng)或用于量具、加熱方案的端口，以及板上的硼硅酸鹽或藍寶石玻璃窗口。 16.2 高真空擺式隔離閥的主要特點
特點：
在嚴酷的工藝環(huán)境中具有可靠的隔離作用 低沖擊操作，低顆粒活化 工藝惰性 - 殘余氣體（RGA）非常低
優(yōu)勢：
瑞士VAT真空擺閥 | 尺寸 |
| DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"),
DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 500 (20") |
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| 驅(qū)動器 | 氣動 | 帶閉合彈簧(NC)的單作用 |
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| | 3位氣動 | 帶閉合彈簧(NC)的單作用 |
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| 閥體材料 |
| 鋁 |
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| 貫通性 |
| 旋轉(zhuǎn)式貫通件 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
| ISO-F, ASA-LP, JIS |
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| 泄漏率 | 閥體；閥座 | < 1 × 10-8 mbar ls-1 |
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| 壓力范圍 |
| 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) |
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| 閥板可承受壓差 |
| ≤ 1.2 bar |
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| 打開時可承受壓差 | DN 200
DN 250 - 500 | ≤ 10 mbar
≤ 5 mbar |
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| 首維護前開關(guān)次數(shù) |
| 20萬次 |
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| 溫度 | 閥體
驅(qū)動器
電磁閥
位置指示器 | ≤ 120 °C
≤ 80 °C
≤ 50 °C
≤ 80 °C |
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| 加熱和冷卻速率 |
| ≤ 30 °C h-1 |
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| 材料 | 閥體，碟型，密封圈
DN 200-400
DN 500
貫通件（與介質(zhì)接觸的部分） |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42100 (3.2371)
AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) |
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| 密封 | 閥帽 碟型 活力 貫通件 | 氟橡膠 (Viton®) |
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| 安裝位置 |
| 任何位置 |
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| 電磁閥 |
| 24 V DC, 5.4 W (可根據(jù)要求提供其他值) |
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| 位置指示器：觸點額定值 | 電壓
電流 | ≤ 50 V AC/DC
≤ 1.2 A |
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| 閥門位置指示 |
| 視覺（機械） |
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