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可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)且適用于環(huán)境(研磨、鋸切)
緊湊、標準的工業(yè)接口
單獨的定位測量,可測量平面或圓周
產品介紹:
XRD-OEM的特點
可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)且適用于環(huán)境(研磨、鋸切)
緊湊、標準的工業(yè)接口
單獨的定位測量,可測量平面或圓周
光學等級檢測
解決了行業(yè)難題:
如果加工設備和定向測量是分開的,那么就會因為樣品轉移而造成定向誤差
市場對于精確對齊的晶圓的需求量越來越大
將測量過程整合到工業(yè)生產中(研磨或鋸切)
XRD-OEM適配普遍的打磨設備
無需移動樣本即可進行定向,可與打磨產線相結合直接進行在線檢測
應用實例
硅錠取向
磨削前對平面和缺口位置的檢測
樣品直徑可達8 ",長度可達40厘米
技術參數
可測量材料:硅,碳化硅,砷化鎵及更多
樣品尺寸:鋼錠直徑450毫米
冷卻:空氣,低噪音
可能的用途:在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預對準
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