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FS-N 系列半導體氣動泵
  • FS-N 系列半導體氣動泵
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-04-25 21:00:08

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FS-N 系列半導體氣動泵
適用于各類供藥系統(tǒng),吐出量達100L/min

FS-N 系列半導體氣動泵
適用于各類供藥系統(tǒng),吐出量達100L/min

高速沖程

高速沖程 (FS-80N最高達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。


無污染設計

過流端采用氟樹脂無污染構造,使用的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請)。

 

高流量及高吐出壓力
最大吐出量高達0.7MPa,不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用于清洗及CMP制程。


傳感器驅(qū)動系統(tǒng)

內(nèi)置式開關通過傳感器驅(qū)動系統(tǒng)打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。

 

規(guī)格

最大吐出量

100 L/min

最大吐出壓力

0.7 MPa

最大耗氣量

1495 NL/min

最大沖程率

100 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 60 °C


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