掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s，縮短了檢查時(shí)間
測定晶圓等大樣品時(shí)，掃描儀的掃描速度對測定時(shí)間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2，這樣，測定時(shí)間縮短了25%*2。 除了加減速時(shí)，掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過新設(shè)計(jì)的高剛性框架抑制裝置的振動(dòng)，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。 

考慮了設(shè)置場所、作業(yè)性的裝備
考慮在潔凈室內(nèi)的使用的情況，掃描儀的門采用上彈方式，同時(shí)，作為門的選購件，還準(zhǔn)備了防靜電型透明板，提高了防塵性。
為了設(shè)置樣品、維護(hù)設(shè)備時(shí)可順暢拆裝臺(tái)面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開。
本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。
本體電源ON就可進(jìn)行升降機(jī)的升降操作。不用啟動(dòng)FineSAT軟件就可動(dòng)作。
標(biāo)準(zhǔn)裝備便攜控制器。 以往，移動(dòng)掃描儀內(nèi)的探頭時(shí)，要用鼠標(biāo)或鍵盤操作顯示器畫面內(nèi)的按鈕，來回移動(dòng)視線，查看、操作探頭和監(jiān)視器或鍵盤。 如果使用便攜控制器，不用離開視線，就可對探頭位置進(jìn)行微調(diào)整。
配備23英寸顯示器，大幅提高數(shù)據(jù)解析等的視認(rèn)性、作業(yè)性。
可選擇雙顯示器。
*1GUIPC為選購件的情況。

*2與本公司以往機(jī)型相比，因條件而有所不同。

*3因測定條件不同，最大掃描速度可能受到限制。
 

■ 高分辨率波形顯示
能將超聲波的測定時(shí)間單位設(shè)定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不斷細(xì)微化、多層化的電子裝置的薄層內(nèi)的缺陷、層間剝離的檢測、深度位置信息的精度提高。

■ 多焦點(diǎn)
通過掃描時(shí)連續(xù)改變焦點(diǎn)位置的功能，1次測定就可獲得對焦不同的多個(gè)深度的圖像，所以能防止漏看缺陷。

■ 多閘門縮略圖顯示
對于通過多閘門測定的多個(gè)不同信息的圖像，可生成縮略圖，轉(zhuǎn)換為容易選擇的一覽顯示?？s略圖圖像可單獨(dú)變更調(diào)色板。

■ 覆蓋物顯示(反射圖像/透射圖像重疊)
可重疊顯示通過反射法/透射法同時(shí)測定取得的2個(gè)圖像。另外，對于顯示的圖像，可調(diào)整透明度，所以可設(shè)定為容易判斷的圖像。
■ 作為選購件，準(zhǔn)備了圖像銳化、體積圖像、孔隙瀏覽器等軟件
可與圖像銳化軟件（對超聲波信號(hào)劣化進(jìn)行補(bǔ)正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測定后將收集的波形數(shù)據(jù)解析為測定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進(jìn)行合格與否判定、統(tǒng)計(jì)處理）等高度的解析軟件組合。
■ 追隨掃描功能
這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓、扭曲的被檢體。
掃描時(shí)可追隨被檢體的表面。

 

	FSP8Ⅴ	FSP12Ⅴ
探頭頻率（MHz）	5～200	5～300
最高頻率（MHz）	500
有效行程（X×Y×Z）?。╩m）	350×350×80
最大掃描速度（mm/s）	2,000
最多測定點(diǎn)數(shù)（點(diǎn)）	標(biāo)準(zhǔn)：4億 GUIPC選購件時(shí)：20億
外形尺寸（W×H×D）?。╩m）	1,590×1,300×940（門關(guān)閉狀態(tài)）
質(zhì)量（kg）	約470
電源（電壓/電流/頻率）	AC100V/15A/　50/60Hz

*特殊規(guī)格請咨詢。還備有英語版軟件。