通過(guò)將電子掃描方式的ES5100系列組合到以高分辨率和操作性受到好評(píng)的FineSAT中，追加了高速檢查功能的混合型裝置。
以前，為了調(diào)查在高速檢查中發(fā)現(xiàn)的異常的詳情，需要把被檢體轉(zhuǎn)移到其他裝置重新測(cè)量，但在FineSAT Hybrid上，不用進(jìn)行轉(zhuǎn)移被檢體的作業(yè)，用1臺(tái)設(shè)備就可進(jìn)行異常解析。
可在短時(shí)間內(nèi)提高產(chǎn)線產(chǎn)量。
除了標(biāo)準(zhǔn)型之外，還有可同時(shí)測(cè)量大型樣品和多個(gè)樣品的長(zhǎng)行程寬體產(chǎn)品。

 ■ 雙測(cè)頭
可以同時(shí)安裝高精細(xì)測(cè)定的單焦點(diǎn)探頭和高速測(cè)定的電子掃描方式的陣列探頭。
單焦點(diǎn)探頭/陣列探頭的切換可以通過(guò)鼠標(biāo)操作在探頭選擇畫(huà)面上切換。
■ 高速
與使用單焦點(diǎn)測(cè)頭相比，使用陣列探頭能以約3～10倍(*)的速度顯示圖像。
(*:本公司比較，根據(jù)測(cè)定條件)
■ 組合
請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買前從25、50、75MHz中選定陣列探頭。單焦點(diǎn)探頭根據(jù)機(jī)型不同，可以使用5～300MHz的探頭。
通過(guò)陣列探頭進(jìn)行高速測(cè)定后，通過(guò)用單探頭測(cè)定擔(dān)心的部分、用高精細(xì)的圖像進(jìn)行解析評(píng)價(jià)等方法提高業(yè)務(wù)的效率。

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