目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實驗設(shè)備>>定位/掃描臺>> 微型線性壓電位移臺
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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Xeryon微型線性壓電位移臺的XLA系列（XLA-1/3/5/10）憑借其超緊湊設(shè)計、納米級精度、高速度和Crossfixx™超聲波壓電驅(qū)動技術(shù)，在多個高精度運動控制領(lǐng)域具有優(yōu)勢。
XLA系列微型線性壓電位移臺核心參數(shù)-運動控制的突破
型號 | 行程范圍 (mm) | 驅(qū)動力（N） | 分辨率 (nm) | 重復(fù)精度 (nm) | 速度（max）(mm/s) |
XLA-1 | 5-305 | 1 | 78/312/1250(閉環(huán)) / 20-50μm(開環(huán)) | ±80(單向) / ±160(雙向) | 5.5-17.5 |
XLA-3 | 10-290 | 3 | 35.8-60 | ||
XLA-5 | 10-290 | 5 | |||
XLA-10 | 10-285 | 10 | 54.9-85.6 | ||
環(huán)境使用要求 | 工作溫度-30℃~+70℃ 濕度要求20%-90% RH | ||||
XLA系列核心參數(shù)
大行程5-285mm
分辨率78nm-1250nm
重復(fù)精度80nm
速度5.5mm/s-85.6mm/s
選型建議
·高精度需求：優(yōu)先選擇XLA-1或XLA-3（分辨率達78nm，雙向重復(fù)精度±160nm）。
·大負(fù)載應(yīng)用：選擇XLA-10（驅(qū)動力10N，保持力10N）。
·緊湊設(shè)計：XLA-1（僅5.4mm厚度）適合空間受限場景。
·高速運動：開環(huán)版本均支持1000mm/s。
控制器兼容性
·所有型號均支持以下控制方式：
·Windows圖形界面
·LabVIEW/Matlab腳本
·C++/Python庫
注：閉環(huán)版本需搭配專用控制器（XD-OEM/XD-A），開環(huán)版本內(nèi)置控制器。
應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體與光刻設(shè)備
·光刻機精密對準(zhǔn)：
XLA-10的高分辨率（78nm）和雙向重復(fù)精度（±160nm）適合晶圓臺的微米級定位。（如ASML光刻機中的掩模版調(diào)整）
·晶圓檢測設(shè)備：
XLA-5的快速響應(yīng)（點對點定位時間25ms）用于自動對焦和掃描平臺。
·優(yōu)勢
·無磁干擾
·耐真空兼容（可選HV版本）
2. 生命科學(xué)與醫(yī)療設(shè)備
·共聚焦顯微鏡
·微創(chuàng)手術(shù)機器人
3. 光學(xué)與光子學(xué)
·自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)
·激光加工設(shè)備
·技術(shù)亮點
·無振動運動（超聲波電機）
·支持LabVIEW/Python控制（快速集成）
4.工業(yè)自動化與檢測
5.科研與定制化儀器
·低溫實驗環(huán)境
·超真空腔體
6.新興技術(shù)領(lǐng)域
·AR/VR光學(xué)模組
·生物打印
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