目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實(shí)驗(yàn)設(shè)備>>定位/掃描臺>> 多軸壓電納米位移臺
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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Xeryon多軸壓電納米平移臺可搭配線性、垂直、旋轉(zhuǎn)位移臺臺，具備大行程（10-150mm）,高分辨,高速的特點(diǎn)。
分辨率高達(dá)5nm（線性），3µrad（旋轉(zhuǎn)）
速度高達(dá)1000mm/s（線性）720°/s（旋轉(zhuǎn)）
多軸壓電納米平移臺是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位，視頻以XY軸位移臺運(yùn)動為例。
多軸壓電納米位移臺主要特點(diǎn)：
·緊湊：
每段質(zhì)量小于40g
·精確:
分辨率高達(dá)5 nm（線性）和3µrad（旋轉(zhuǎn)）
·快速:
高達(dá)1000mm /s（線性）和720°/s（旋轉(zhuǎn)）
·耐用:
>壽命1000公里（直線），>壽命1000萬轉(zhuǎn)（旋轉(zhuǎn)）
多軸壓電納米平臺可以提供XY軸,XYZ三軸，X旋轉(zhuǎn)，XY旋轉(zhuǎn)位移臺。圖為5軸位移臺。
控制器和軟件：
兼容XD-C（單軸）和XD-M（多軸）控制器。兼容運(yùn)動控制器，如：
Beckhoff, Omron, Festo， ACS， Elmo等等。
易于使用的Windows界面或LabVIEW驅(qū)動程序。
多種庫，如c++， Python和MATLAB可用。
真空兼容性：
Xeryon有高真空（HV, 10- 6mbar）和超高真空（UHV, 10- 9mbar）兩種型號。
我們提供幾種真空饋通法蘭，包括D-Sub 15針（標(biāo)準(zhǔn)），F(xiàn)ischer 12針和Lemo 12針。
多軸壓電納米位移臺主要應(yīng)用：
·光電子學(xué)
·半導(dǎo)體生產(chǎn)
·醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
·生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
·顯微鏡和計(jì)量學(xué)
·掃描電子顯微鏡
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