?產(chǎn)品介紹

德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot（MDP晶錠在線面掃檢測(cè)儀--進(jìn)口少子壽命測(cè)試）系統(tǒng)是快速多晶硅晶錠電學(xué)參數(shù)特性測(cè)量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測(cè)試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時(shí)間里測(cè)量其四面。所有的圖譜(壽命，光電導(dǎo)率，電阻率)都可以同時(shí)進(jìn)行測(cè)量。

MDPinline ingot（MDP晶錠在線面掃檢測(cè)儀--進(jìn)口少子壽命測(cè)試）系統(tǒng)包括一個(gè)數(shù)據(jù)庫和相關(guān)的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)評(píng)估，可自動(dòng)確定準(zhǔn)確的切割位置，以提高成品率。主要用于材料質(zhì)量監(jiān)控，爐選擇和工藝改進(jìn)。

?性能

 --無接觸、無破壞的半導(dǎo)體特性

 --少數(shù)載流子壽命的檢測(cè)能力

 --先進(jìn)的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

 --自動(dòng)切割標(biāo)準(zhǔn)定義

 --獲取體材料性質(zhì)的穩(wěn)態(tài)測(cè)量

 --*自動(dòng)化的內(nèi)聯(lián)集成

 --對(duì)太陽能級(jí)硅錠進(jìn)行掃描，1mm分辨率

 --測(cè)量時(shí)間:1分鐘內(nèi)完成晶錠的面掃描，可自動(dòng)測(cè)量所有4個(gè)面

Automated determination of cut off criteria

?優(yōu)勢(shì)

 --保持著先進(jìn)光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測(cè)的世界記錄。

 --在1分鐘內(nèi)完成分辨率大于1mm成像掃描測(cè)試，同時(shí)可完成電導(dǎo)類型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的

 --線掃描測(cè)試?？蛻舳x的切割標(biāo)準(zhǔn)可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫允許對(duì)下一代光伏晶圓廠進(jìn)行*自動(dòng)化的材料監(jiān)控。

 --對(duì)爐料進(jìn)行質(zhì)量控制和爐況監(jiān)測(cè)，并進(jìn)行失效分析。特殊的“underneath the surface”測(cè)量技術(shù)大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真。

?技術(shù)參數(shù)