?產(chǎn)品介紹

德國(guó)Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司的Omega/Theta XRD（X射線(xiàn)單晶定向儀-Omega掃描）主要針對(duì)半導(dǎo)體晶體材料和光學(xué)材料生產(chǎn)研發(fā)，該儀器采用先進(jìn)的Omega掃描方法測(cè)定晶體結(jié)構(gòu)并檢測(cè)單晶取向，具有成熟的單晶X射線(xiàn)衍射儀（XRD）技術(shù)，且可集成至全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)中，是一臺(tái)可測(cè)大直徑的全自動(dòng)晶圓和鑄錠定向檢測(cè)分揀設(shè)備。

?技術(shù)特點(diǎn)

 --全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線(xiàn)測(cè)定各種晶體的方向。配備可容納長(zhǎng)達(dá)450毫米和30公斤的樣品及樣品架；

 --自動(dòng)化測(cè)量，并通過(guò)定制軟件進(jìn)行訪(fǎng)問(wèn)。利用Omega掃描，可在晶體旋轉(zhuǎn)(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描只產(chǎn)生一個(gè)方向分量；

 --準(zhǔn)確地確定傾斜角度，Theta掃描精度達(dá)到0.001°；

 --模塊化系統(tǒng)，并配備了多功能需求擴(kuò)展。

?行業(yè)應(yīng)用

具有多種幾何形狀和大小的樣品 

根據(jù)材料和產(chǎn)量的不同，晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀。Omega/Theta X射線(xiàn)衍射儀（X射線(xiàn)單晶定向儀-Omega掃描）可以處理大塊鋼錠或鋼球和實(shí)驗(yàn)合成的微小晶體。

非線(xiàn)性光學(xué)材料(NLO)：晶體質(zhì)量和定向 

與典型的無(wú)機(jī)金屬、半導(dǎo)體和絕緣體相比，NLO材料具有更復(fù)雜的晶體結(jié)構(gòu)和更低的對(duì)稱(chēng)性。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內(nèi)的小棒，而對(duì)這種小晶體的表面質(zhì)量測(cè)定常?？梢越沂揪w內(nèi)部的結(jié)構(gòu)缺陷和裂紋。通過(guò)對(duì)Omega/Theta的設(shè)計(jì)進(jìn)行的一些特殊的修改，我們的定向儀能夠確定許多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的的晶向。

平面方向的標(biāo)記和測(cè)量 

Omega掃描能夠在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位。因此，平面方向可以直接識(shí)別。這是一個(gè)有用的功能，以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

搖擺曲線(xiàn):晶體表面評(píng)價(jià) 

搖擺曲線(xiàn)測(cè)量對(duì)晶格內(nèi)的缺陷和應(yīng)變場(chǎng)很敏感。將這種技術(shù)與映射階段相結(jié)合，可以?huà)呙杈w表面并確定缺陷區(qū)域。通過(guò)裝備一個(gè)具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀，可以直接測(cè)量晶體表面某一反射的搖擺曲線(xiàn)映射。

如下圖顯示的結(jié)果，這種映射的碳化硅晶圓片的內(nèi)部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線(xiàn)的FWHM。這可能與表面劃痕或生長(zhǎng)缺陷有關(guān)。