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日本FUJI-US富士工業(yè)品多組分濃度計(jì) FUD-1 Model-53
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  • 日本FUJI-US富士工業(yè)品多組分濃度計(jì) FUD-1 Model-53

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貨物所在地: 山東青島市
產(chǎn)地: 日本
更新時(shí)間: 2024-12-30 08:51:01
期: 2024年12月30日--2025年4月1日
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本FUJI-US富士工業(yè)品多組分濃度計(jì) FUD-1 Model-53

詳細(xì)介紹

日本FUJI-US富士工業(yè)品多組分濃度計(jì) FUD-1 Model-53

FUD-1 Model-53 的優(yōu)點(diǎn)(如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量)保持不變,是半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型發(fā)射器。

多組分濃度計(jì)的特點(diǎn)

實(shí)時(shí)3成分中2成分濃度計(jì)側(cè)

  • 標(biāo)配模擬 DC4~20mA(2 系統(tǒng))及數(shù)字 RS232C

  • 標(biāo)配測(cè)量錯(cuò)誤輸出和報(bào)警輸出

  • 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤消息顯示

  • 小型、輕質(zhì)單元式發(fā)射器可直接安裝在生產(chǎn)線上

  • 采用PFA的接液部件質(zhì)、小輸出設(shè)計(jì)對(duì)藥液沒有影響


優(yōu)勢(shì)

  • 可實(shí)現(xiàn)高精度的連續(xù)測(cè)量

  • 無需定期調(diào)整和校準(zhǔn),免維護(hù)

  • 無需安裝時(shí)進(jìn)行各種調(diào)整等,安裝也容易

  • 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋流程


用途

  • CMP工序中CMP漿料及氧化劑濃度管理等

  • 清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 蝕刻過程中的蝕刻液濃度管理等(TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等)




規(guī)格

類型表達(dá)式FUD-1 Model-53
轉(zhuǎn)換器
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速率、溫度和電導(dǎo)率
顯示LCD(濃度 1、濃度 2、溫度、聲速、電導(dǎo)率/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬 DC4~20mA:2系統(tǒng)(可根據(jù)濃度值自由設(shè)定)
數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導(dǎo)率、錯(cuò)誤代碼)
警報(bào) 上、下限 測(cè)量異常:2系統(tǒng)
電源AC100V 至 240V 50/60Hz 30VA(也可使用 DC24V)
結(jié)構(gòu)面板安裝類型(符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn))
環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器0~50℃
RH85% 或更少(無冷凝)
功能輸出范圍設(shè)定功能、警報(bào)輸出設(shè)定功能、濃度顯示移動(dòng)平均功能、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值消除功能、溫度時(shí)間常數(shù)校正
選項(xiàng)溫度輸出(DC4~20mA)
RS485輸出(無法與RS232C同時(shí)輸出)
通道(校準(zhǔn)曲線)高達(dá) 7 通道
兼容發(fā)射器示例SA-20S29+電導(dǎo)率計(jì)、SA-20S27+電導(dǎo)率計(jì)



類型表達(dá)式發(fā)射器
SA-20S29+電導(dǎo)率計(jì)
SA-20S27+電導(dǎo)率計(jì)
振動(dòng)元件 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
測(cè)量元件熱敏電阻熱敏電阻
測(cè)量液體溫度 0~100℃ 0~80℃
結(jié)構(gòu)流式細(xì)胞流式細(xì)胞
液體接觸材料PFA/PFA 涂層 PFA
管接頭3/4 配件(可更改)3/4 配件(可更改)
耐壓 0.3MPa 0.3MPa
 流量5 升/分鐘(推薦)5 升/分鐘(推薦)
 重量 2.5kg 2.5kg
電纜專用電纜 6m專用電纜 6m
環(huán)境溫度 5~45℃ 5~45℃


ASHAHISEIKOEG01-55-1MR
RIONVP-51A
UNIPULSEWLI-P330
SAMAZUMEFHC-30SN
HAKKOA1573
SOLAR#205
SANKEITA35T
SANKEIAS8-9
SANKEICPU12-F-SPUS
ACCRETECHDM45502
OJIDENOFL-2Y-SM2C
KODAIRAYBA-7


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