全新包裝布魯克斯質(zhì)量流量計(jì)
ROOKS SLA5863型流量控制器能準(zhǔn)確的測(cè)量和控制氣體流量。其核心是一個(gè)可拆卸的測(cè)量氣體流量的探頭,該探頭產(chǎn)生跟流量成線性比例的電輸出信號(hào)用來顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要?dú)怏w壓力進(jìn)行連續(xù)的監(jiān)測(cè)和重新調(diào)整就可以提供穩(wěn)定的氣體流量。
全新包裝布魯克斯質(zhì)量流量計(jì)操作原理
BROOKS流量控制器運(yùn)用熱動(dòng)力學(xué)原理,一個(gè)有準(zhǔn)確電源的加熱器為內(nèi)有連續(xù)穩(wěn)定氣流的 傳感器套管的中部加熱,在同一套管距加熱器等距的地方各有一個(gè)電阻性的溫度測(cè)量元件。
沒有氣流時(shí),到達(dá)兩個(gè)溫度測(cè)量元件的熱量是相等的:有氣流時(shí)則氣流帶走熱量,兩溫度 測(cè)量元件就有了溫度差異,溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電 路來反映,然后放大裝置,以0-5V的輸出電壓輸出到控制電路。
在無流量的情況下,熱量會(huì)均勻的分散在每個(gè)溫度元件中,隨著流量的增加,流體帶著 熱量從上游(該處溫度為T1)到達(dá)下游,則下游溫度上升(該處溫度為T2),不同的溫度上升通過兩處元件顯示,這種差異均衡的計(jì)量了氣流或流速,電路顯示溫度的不同而放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號(hào)??刂齐娐繁容^設(shè)定要求值和輸出流量信號(hào),然后控制準(zhǔn)確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2%時(shí),控制閥*關(guān)閉,控制閥由它的控制電路控制能*打開或關(guān)閉。
控制電路比較設(shè)定要求值和輸出流量信號(hào),然后控制準(zhǔn)確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2%時(shí),控制閥*關(guān)閉,控制閥由它的控制電路控制能*打開或關(guān)閉。
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