布魯克斯高精度質(zhì)量流量計(jì)

布魯克斯高精度質(zhì)量流量計(jì)  來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測(cè)量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許較大的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號(hào)。該信號(hào)用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動(dòng)歸零電路。

 布魯克斯高精度質(zhì)量流量計(jì)特點(diǎn)

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
• 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
• 高純度 VAR 316L 不銹鋼
• 無磨粒
• 氦泄漏檢查端口
• 常閉閥（可選常開閥）
• 電致動(dòng)閥復(fù)位
• 低命令流量斷流
• TTL 兼容"關(guān)閥"功能

優(yōu)勢(shì)

• 穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺(tái)
• 高流量，高達(dá) 100 lpm（N2 當(dāng)量）
• 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
• 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應(yīng)用

• 光纖制造——MCVD，OVD，AVD
• 水汽流量控制
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  準(zhǔn)確和可重復(fù)的過程控制：這是半導(dǎo)體和電子制造業(yè)的根本驅(qū)動(dòng)因素。由于每代工具、工藝和節(jié)點(diǎn)都具有連續(xù)性，已經(jīng)開發(fā)出來并得以部署，所以半導(dǎo)體流量和壓力計(jì)的*和超高性能要求以及對(duì)不斷創(chuàng)新和改進(jìn)的需求，在現(xiàn)在乃將來都不會(huì)停止。

  Brooks Instrument 按這些要求提供本行業(yè)的流量、壓力、真空和蒸汽輸送解決方案。我們的半導(dǎo)體產(chǎn)品組合包涵了我們創(chuàng)造眾多突破性測(cè)量和控制設(shè)備的數(shù)十年經(jīng)驗(yàn)，這些設(shè)備現(xiàn)已成為本行業(yè)各層次工藝設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)部件。

  您選擇 Brooks Instrument 半導(dǎo)體產(chǎn)品，即選擇了我們的獨(dú)到見解和資源，只有我們才能利用這些處理 FEOL 和 BEOL 的基本流程并迎接產(chǎn)量方面的挑戰(zhàn)：

• 專業(yè)：*的半導(dǎo)體工具制造商期待 Brooks 員工用他們*的專業(yè)技術(shù)和獨(dú)到見解，對(duì)流量和壓力的測(cè)量和控制技術(shù)精益求精，應(yīng)對(duì)*的工藝氣體、設(shè)備腔體接合以及生產(chǎn)力方面的挑戰(zhàn)。
• 準(zhǔn)確：Brooks 的儀器為客戶提供適用、特別應(yīng)用的準(zhǔn)確度、耐用度，重要的是重復(fù)性，幫助客戶管理飛漲的工具成本。我們一直不斷投資改善我們的產(chǎn)品組合，所以我們的每臺(tái)設(shè)備都有助于提高過程控制，終轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力和產(chǎn)量。
• 可靠：Brooks 的半導(dǎo)體產(chǎn)品采用的是較高質(zhì)的鋼與合金、高性能數(shù)字電子技術(shù)和獲得的傳感器設(shè)計(jì)，能提供數(shù)十年的可重復(fù)性準(zhǔn)確測(cè)量和控制，尤其是在與外來工藝氣體相互作用時(shí)。
• 焦點(diǎn)：Brooks 專注流量和壓力的測(cè)量和控制，服務(wù)能力不斷提升，業(yè)務(wù)遍及各國，能對(duì)儀器問題作出較快響應(yīng)，并對(duì)其提供的半導(dǎo)體產(chǎn)品提供更好的生命周期支持。
• 支持：我們支持并提供應(yīng)用專業(yè)技術(shù)、定制計(jì)量配置、服務(wù)和產(chǎn)品選擇幫助。