目錄:江蘇雷博科學儀器有限公司>>勻膠顯影機>>自動顯影機>> DM200-SE全封閉式桌面顯影機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,電子 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品尺寸 | 550mm (W) x600mm (D) x405mm (H) |
產(chǎn)品優(yōu)勢
·全封閉式顯影，避免霧氣擴散到外部，污染環(huán)境。
·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。
·內(nèi)腔不銹鋼材質(zhì)，鏡面拋光處理，光滑，耐腐蝕，易清洗。
·內(nèi)置真空過濾器，防止液體吸入真空泵。
·真空壓力可調(diào)，壓力值實時顯示。
·液體流量可調(diào)，回吸可調(diào)。
產(chǎn)品參數(shù)
支持wafer尺寸：碎片至200mm（8"圓晶）
·轉速分辨率：±1 RPM
·旋涂速度：20-3000rpm（空載）
·旋涂加速度：20-10,000rpm/sec（空載）
·工藝時間設定： 0-3,000sec/step，時間設置精度： 0.1sec
·該機型適用于標準3路顯影機（1路顯影液，1路純水，1路氮氣）
·單步工藝及多步工藝可選，內(nèi)置100組可編輯程序
·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
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