系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長作為測量基準，利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法，實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本產(chǎn)品具有以下特點：
高的測量精度：基于干涉測量原理，測量重復性達到1nm。
大的測量范圍：采用*掃描系統(tǒng)，在保證納米定位精度的同時，單場掃描范圍可達到10mm，結合白光光源重構方法，可滿足曲面元件等大范圍物體測量需求。
全自動測量：標配自動檢焦功能，結合自動調焦裝置，無需復雜調節(jié)過程，一鍵操作即可完成調焦、檢測全過程。選配自動二維平臺，可自動完成大面積三維數(shù)據(jù)拼接操作
高集成度、安裝簡便：整機集成為統(tǒng)一整體，僅需外接220v電源，通過USB3.0 數(shù)據(jù)傳輸，即可完成數(shù)據(jù)傳輸與測量
具有高的性價比：保證系統(tǒng)性能的同時，降低制造成本
靈活性高：可根據(jù)用戶需求，對系統(tǒng)進行改進，滿足工業(yè)不同應用場景需求。