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更新時(shí)間：2025-01-16 13:16:51瀏覽次數(shù)：482次

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渦流法電阻率測(cè)試儀特點(diǎn)：

樣品尺寸：2"-8"或者16mm×16mm的方形樣品；

遷移率測(cè)量范圍：100-20000（cm2/v.sec)；

方塊電阻測(cè)量范圍：100-3000（ohm/sq)；

載流子面密度測(cè)量范圍：1E11-1E14（cm-2）；

電磁鐵磁場(chǎng)強(qiáng)度：1.0T

探頭線圈直徑：15mm

專注于非接觸式半導(dǎo)體計(jì)量分析技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn)，攻克被國(guó)外卡脖子技術(shù)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研以及平板材料測(cè)試領(lǐng)域。借助公司*計(jì)量分析測(cè)試技術(shù)，為晶圓、碳化硅、硅片、封裝測(cè)試等生產(chǎn)和品質(zhì)監(jiān)控，提供一整套完整測(cè)試和解決方案。

晶圓電阻率測(cè)試儀，硅片電阻率測(cè)試儀，渦流法低電阻率分析儀，晶錠電阻率分析儀，遷移率（霍爾）測(cè)試儀，少子壽命測(cè)試儀。

電阻有一個(gè)特性，即任意大小的正方形測(cè)量值都是一樣的，不管邊長(zhǎng)是1米還是0.1米，它們的方阻都是一樣，這樣方阻僅與導(dǎo)電膜的厚度等因素有關(guān)，表征膜層致密性，同時(shí)表征對(duì)熱紅外光譜的透過(guò)能力，方塊電阻測(cè)量數(shù)值愈大，則隔離熱紅外性能越差，方塊電阻測(cè)量數(shù)值愈小則隔離熱紅外性能越好，對(duì)于建筑行業(yè)來(lái)講低輻射玻璃的熱紅外性能測(cè)量的快速測(cè)量就必須選用方塊電阻測(cè)量?jī)x，測(cè)量值愈小則建筑材料就愈節(jié)能，在建筑材料行業(yè)具有很大的作用。

渦流法電阻率測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：

參數(shù)	方阻（電阻率）（厚度約125μm）
	8- 2500Ω/sq（0.1-30 Ω?cm）可擴(kuò)展到100Ω?cm
探頭性能	動(dòng)態(tài)重復(fù)性	靜態(tài)重復(fù)性	示值誤差
	測(cè)試條件：采樣率 250SPS（4ms），60個(gè)點(diǎn)/每次
	008-160Ω/sq（0.1- 2 Ω?cm)<0.3%	<0.05%	≤±3%
	160-800Ω/sq（2 - 10 Ω?cm）<0.5%	<0.1%	≤±3%
	800-2500Ω/sq（10 - 30 Ω?cm）<0.5 %	<0.2%	≤±3%
外形尺寸	上探頭：Ф20×145mm	下探頭：Ф20×100mm	控制盒：173×130×55mm
信號(hào)采集	采樣率：≤1ms，采集數(shù)據(jù)＞300點(diǎn)
	數(shù)據(jù)接口：RS232，RS485 CAN TCP/IP
	傳輸協(xié)議：Modbus Rtu/Modbus Tcp、用戶自定義 SOCKET 協(xié)議等
	自動(dòng)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)
	原始信號(hào)可公開

參數(shù)	PN
外形尺寸	Ф25*99mm
電阻率范圍	樣品電阻率范圍：0.02-3000Ω?cm
信號(hào)采集	采樣率：60sps-1000sps（1ms-16ms/點(diǎn)），默認(rèn)4ms
信號(hào)采集	采樣數(shù)據(jù)：**200個(gè)點(diǎn)，默認(rèn)100點(diǎn)
光源特性	理論壽命> 10年
光源特性	頻率可調(diào)：1KHz - 100KHz，可避免機(jī)臺(tái)同頻干擾

PN測(cè)試原理

用能量大于半導(dǎo)體材料禁帶寬度的單色光照射在半導(dǎo)體材料表面，在其內(nèi)部產(chǎn)生電子-空穴對(duì)，受濃度梯度驅(qū)動(dòng)擴(kuò)散至半導(dǎo)

體材料近表面空間電荷區(qū)的電子和空穴將被自建電場(chǎng)分離，形成光生電壓，即表面光電壓。

渦流法電阻率測(cè)試儀

N型和P型半導(dǎo)體材料在光誘導(dǎo)下，表面勢(shì)壘高度的變化過(guò)程

與進(jìn)口儀器相關(guān)性及重復(fù)性對(duì)比（來(lái)源于客戶測(cè)試）
電阻率探頭——相關(guān)性系數(shù)R2=0.9996

渦流法電阻率測(cè)試儀

電阻率探頭——穩(wěn)定性

	樣片1						樣片2
	進(jìn)口***			九域			進(jìn)口***			九域
No.	Ave	Max	Min	Ave	Max	Min	Ave	Max	Min	Ave	Max	Min
1	0.376	0.385	0.312	0.375	0.383	0.318	0.64	0.648	0.542	0.636	0.643	0.547
2	0.377	0.386	0.311	0.375	0.383	0.317	0.64	0.649	0.541	0.636	0.643	0.546
3	0.376	0.386	0.311	0.375	0.384	0.318	0.641	0.647	0.541	0.634	0.642	0.546
4	0.378	0.386	0.314	0.376	0.384	0.319	0.642	0.642	0.542	0.635	0.646	0.542
5	0.377	0.385	0.314	0.375	0.383	0.316	0.639	0.647	0.545	0.635	0.644	0.545
6	0.376	0.382	0.315	0.375	0.383	0.318	0.64	0.649	0.542	0.636	0.645	0.545
7	0.378	0.384	0.311	0.375	0.383	0.317	0.642	0.648	0.543	0.636	0.644	0.545
8	0.378	0.384	0.311	0.375	0.384	0.316	0.641	0.648	0.541	0.635	0.644	0.544
9	0.377	0.382	0.313	0.375	0.384	0.318	0.64	0.647	0.542	0.635	0.643	0.546
10	0.376	0.383	0.313	0.376	0.384	0.318	0.641	0.648	0.545	0.635	0.645	0.544
Rsd	0.23%	0.41%	0.48%	0.11%	0.14%	0.31%	0.15%	0.31%	0.28%	0.11%	0.19%	0.26%
%				0.00%	0.26%	1.60%				-0.94%	-0.46%	-0.18%

	樣片3						樣片4
	進(jìn)口***			九域			進(jìn)口***			九域
No.	Ave	Max	Min	Ave	Max	Min	Ave	Max	Min	Ave	Max	Min
1	1.251	1.285	0.972	1.26	1.271	0.965	2.005	2.011	1.689	1.992	2.002	1.666
2	1.25	1.278	0.971	1.257	1.272	0.968	2.006	2.011	1.687	1.992	2.001	1.654
3	1.251	1.277	0.969	1.256	1.271	0.967	2.001	2.008	1.698	1.993	2.003	1.653
4	1.248	1.287	0.966	1.258	1.268	0.968	2.002	2.015	1.688	1.991	2.005	1.655
5	1.247	1.283	0.964	1.258	1.274	0.962	2.006	2.018	1.687	1.992	2.002	1.665
6	1.252	1.281	0.963	1.258	1.274	0.962	2.004	2.019	1.685	1.997	2.001	1.653
7	1.25	1.282	0.962	1.259	1.271	0.965	2.008	2.021	1.697	1.992	2.009	1.653
8	1.252	1.282	0.964	1.257	1.272	0.96	2.008	2.035	1.683	1.998	2.01	1.658
9	1.252	1.284	0.968	1.256	1.274	0.966	2.009	2.021	1.682	1.996	2.01	1.655
10	1.253	1.277	0.97	1.255	1.271	0.965	2.004	2.022	1.685	1.992	2.008	1.659
Rsd	0.15%	0.27%	0.37%	0.12%	0.15%	0.28%	0.13%	0.38%	0.32%	0.13%	0.19%	0.30%
%				0.16%	-0.47%	-0.52%				-0.60%	-0.69%	-1.54%