KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW 返回列表頁

KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì)，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源在半導(dǎo)體薄膜工藝中可以憑借其較快的成膜能力提高產(chǎn)線效率，此外嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和制造工藝也決定該型射頻電源具有精準(zhǔn)的射頻控制能力。

KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 規(guī)格

設(shè)備型號：RFK-75Z-UV1

AC輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，46A

RF輸出：13.56MHz，7.5KW

諧波失真：≤ -45dB

輸出：MOS-FET

輸出接口：HN type                                                                                                                    

散熱方式：水冷散熱

水冷進(jìn)水流速：6L/min

設(shè)備重量：86kg