KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW 返回列表頁

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體薄膜工藝中，優(yōu)良的成膜能力，能夠在一定程度上提升產(chǎn)能。嚴(yán)格的制造工藝讓該型射頻電源具有優(yōu)秀的射頻精準(zhǔn)控制，堅固耐用。

KYOSAN 射頻電源 RFK100ZD 13.56MHz 10KW RF Generator 規(guī)格

設(shè)備型號：RFK100ZD-TE2

AC輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，44A

RF輸出：13.56MHz，10KW

諧波失真：≤ -45dB

輸出：MOS-FET

輸出接口：HN type

散熱方式：水冷散熱

水冷進水流速：8L/min

設(shè)備重量：70kg                                                               

通信接口：RS-232C、MB-Signal