MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 返回列表頁

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產(chǎn)品型號MKS EDGE 10060A-E13

品牌MKS/美國

廠商性質經(jīng)銷商

所在地揚州市

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更新時間：2023-11-23 11:35:51瀏覽次數(shù)：1476次

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產(chǎn)品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

供貨周期	現(xiàn)貨	貨號	EDGE 10060A-E13
應用領域	化工,電子,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	MKS	型號	EDGE?10060A-E13
M/N	EDGE?10060A-E13	P/N	660-210105-335
頻率	57-63MHz	輸出功率	10KW
設備狀態(tài)	Refurbished

MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 RF Generator 是經(jīng)過長期實機驗證的具有高可靠性和穩(wěn)定輸出的高性能射頻電源，廣泛應用于CVD、PECVD等半導體制程中。

詳情介紹

MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 RF Generator 是專為薄膜加工設備提供的可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計算機和電子設備所需的集成電路或芯片的半導體制造系統(tǒng)的重要部件。MKS EDGE Series射頻電源廣泛的應用于半導體制程中，如CVD、PVD、PECVD等，輸出穩(wěn)定可靠，具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，該型射頻電源成膜速度快，能夠在一定程度上提高產(chǎn)線效率，同時能夠實現(xiàn)對射頻輸出的精密控制，保證產(chǎn)品良率。

MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 參數(shù)規(guī)格

品牌：MKS

設備型號：EDGE 10060A-E13

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，55A，50/60Hz

RF 射頻輸出：10000W，57.0~63.0MHz

通信接口：Interlock、RS-232C，CEX，ECAT，ETHERNET

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MIN水流速度 1.5Gal/min；MAX水流壓力 80PSI