供貨周期 |
現(xiàn)貨 |
貨號 |
EDGE 210R40A-G02 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
MKS |
型號 |
EDGE?400KHz |
M/N |
EDGE?210R40A-G02 |
P/N |
660-210103-200 |
頻率 |
400KHz |
設(shè)備狀態(tài) |
Refurbished |
MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz是經(jīng)過長期驗證的高性能射頻發(fā)生器,能夠提供持續(xù)穩(wěn)定的射頻輸出,廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中。
MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz RF Generator 是一款優(yōu)秀的射頻電源,輸出穩(wěn)定性能可靠,能夠為優(yōu)良的薄膜加工設(shè)備提供可靠的固態(tài)電源,是制造現(xiàn)代計算機和電子設(shè)備所需的集成電路或芯片的半導(dǎo)體制程中的重要部件。MKS EDGE系列射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力,能夠快速成膜,從而提高產(chǎn)線效率。EDGE系列射頻電源嚴格的制造環(huán)節(jié)把控,使得該型射頻電源在實際工作過程中能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制。
MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz 參數(shù)規(guī)格
品牌:MKS
設(shè)備型號:EDGE 400KHz
AC 電源輸入:3 phase~,200~208V,90A,50/60Hz
RF 射頻輸出:400KHz
通訊接口:Interlock,ETHERNET,RS-232C,CEX,GIGABIT
設(shè)備散熱:水冷散熱
水冷進水需求:MIN水流速度 1.5Gal/min;MAX水流壓力 80PSI
設(shè)備重量:47.6kg(105lbs)