DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW 返回列表頁(yè)

DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW RF Generator 是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，在實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中表現(xiàn)出了優(yōu)良性能和可靠性。DAIHEN NX-RGA 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜速度快，因此被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中。該型射頻電源設(shè)備具有穩(wěn)定的射頻輸出和精準(zhǔn)控制能力，主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。

DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號(hào)：NX-RGA-50G1

AC 電源輸入：3 phase~ ，180~242V，37A，50/60Hz                                                                                          

RF 射頻輸出：13.56MHz，5000W

通訊接口：DI/O I/F I/L，Maintenance，Display，Pulse Out

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水要求：MAX Torque 30N·m

設(shè)備重量：60kg