19975057911
當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>DAIHEN RGA Series>> DAIHEN NX-RGA-10GDAIHEN 射頻電源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 2L39-000052-11 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | NX-RGA-10G |
| P/N | 2L39-000052-11 | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 1000W | 設備狀態(tài) | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW RF Generator 是經過現場長期驗證的輸出穩(wěn)定能力且性能可靠的射頻電源，具有優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力。DAIHEN NX-RGA 系列射頻電源由于其良好的成膜能力，被廣泛運用在半導體制程的薄膜工藝中，RGA系列射頻電源成膜速度快，可以實現對射頻輸出的精準控制，能夠減少能源損耗，提高產線效率和產品良率。該型射頻電源主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。
DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW 參數規(guī)格
設備品牌：DAIHEN
設備型號：NX-RGA-10G
AC 電源輸入：3 phase~ ，180~242V ，37A，50/60Hz
RF 射頻輸出：13.56MHz，1000W
通訊接口：DeviceNet，DI/O I/F I/L，Maintenance，Display
設備散熱：風冷+水冷散熱
水冷進水要求：MAX Torque 30N·m
設備重量：60kg
請輸入賬號
請輸入密碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
化工儀器網