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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>2 PVD>> eVictor系列8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號eVictor系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時(shí)間：2024-09-05 10:18:26瀏覽次數(shù)：284次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。
2. 設(shè)備用途/原理
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫，高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力，背金工藝薄片傳輸及工藝，過程溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控，優(yōu)異的溫度和應(yīng)力控制能力，雙腔傳輸平臺(tái)，多可支持 10 個(gè)工藝模塊，靶材利用率高，大產(chǎn)能，低運(yùn)營成本。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 鈦、氮化鈦、鋁、 鎳、鎳釩、銀。適用工藝 鋁線、正面電工藝、背面金屬化工藝等。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體、集成電路。
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