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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>8 氧化設(shè)備、退火設(shè)備>> HORIC D200系列擴散/氧化系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號HORIC D200系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2024-09-05 17:38:36瀏覽次數(shù)：399次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
HORIC D200系列 擴散/氧化系統(tǒng)，半導(dǎo)體客戶端機臺裝機量大。
2. 設(shè)備用途/原理
HORIC D200系列 擴散/氧化系統(tǒng)，半導(dǎo)體客戶端機臺裝機量大。可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺。安全性能高：設(shè)備及所使用的元件符合國標(biāo)和國際標(biāo)準(zhǔn)。可提供優(yōu)良成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案。優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 4、6、8 英寸，適用材料 硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝 磷擴散、硼擴散、氧化、退火、合金。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。擴散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。
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LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備
Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統(tǒng)具有與 L |
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